51 - 60 out of 66Page size: 10
  1. 2023

  2. Chemical Composition, Structure, and Physical Properties of AlN Films Produced via Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering

    Shayapov, V. R., Bogoslovtseva, A. L., Chepkasov, S. Y., Asanov, I. P., Maksimovskiy, E. A., Kapishnikov, A. V., Mironova, M. I., Lapega, A. V. & Geydt, P. V., Jul 2023, In: Coatings. 13, 7, 13 p., 1281.

    Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

  3. 2024

  4. THE OBTAINING ALUMINUM NITRIDE FILMS ON THE ALUMINUM SUBLAYER BY PULSED DC MAGNETRON SPUTTERING

    Богословцева, А. Л., Капишников, А. В., Шаяпов, В. Р., Чепкасов, С. Ю. & Гейдт, П. В., 2024, 9th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects.

    Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › Research

  5. Получение пленок AlN/Al на Si методом импульсного магнетронного распыления для активного слоя ОАВ-резонаторов

    Богословцева, А. Л., Капишников, А. В. & Гейдт, П. В., 2024, In: Техника радиосвязи. 1 (60), p. 75-83 9 p., 7.

    Research output: Contribution to journal › Conference article › peer-review

  6. Способ измерения коэффициента поглощения оксида германия средствами ИК-спектроскопии

    Володин, В. А. & Гейдт, П. В., 28 Dec 2024, Редакционно-издательский центр НГУ, Patent No. 123, 28 Dec 2024, Priority date 28 Dec 2024

    Research output: Patent › Know-how registration

  7. Способ измерения латерального размера литографического рисунка с помощью сканирующего зондового микроскопа.

    Николаев, И. В. & Гейдт, П. В., 28 Dec 2024, Редакционно-издательский центр НГУ, Patent No. 125, 28 Dec 2024, Priority date 28 Dec 2024

    Research output: Patent › Know-how registration

  8. Способ измерения модуля упругости полистирола и других полимеров с помощью сканирующего зондового микроскопа

    Николаев, И. В. & Гейдт, П. В., 28 Dec 2024, Редакционно-издательский центр НГУ, Patent No. 124, 28 Dec 2024, Priority date 28 Dec 2024

    Research output: Patent › Know-how registration

  9. 2025

  10. THE INVESTIGATION OF AlN FILM THICKNESS IMPACT GROWN BY MAGNETRON SPUTTERING ON OPTICAL PROPERTIES IN THE IR AND THz RANGES

    Шевченко, О. Н., Николаев, Н. А., Рыбак, А. А., Богословцева, А. Л., Гейдт, П. В., Чепкасов, С. Ю. & Максимовский, Е. А., 2025, p. 87. 1 p.

    Research output: Contribution to conference › Abstract

  11. Изучение акустических и оптических свойств пленок нитрида алюминия»

    Богословцева, А. Л., Шевченко, О. Н. & Гейдт, П. В., 2025, p. 277-279. 2 p.

    Research output: Contribution to conference › Abstract

  12. МЕХАНИЧЕСКИЕ НАПРЯЖЕНИЯ В ПЛЕНКАХ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ

    Богословцева, А. Л., Шаяпов, В. Р., Капишников, А. В., Чепкасов, С. Ю. & Гейдт, П. В., 2025, p. 58-60. 2 p.

    Research output: Contribution to conference › Abstract

  13. Структура пьезоэлектрических пленок AIN, полученных методом магнетронного распыления на Si (100)

    Богословцева, А. Л. & Гейдт, П. В., 2025, p. 22.

    Research output: Contribution to conference › Abstract

Previous 12 3 4 5 6 7 Next

ID: 17839471