Research output

  1. Cluster Ion Treatment of the Surface of Single-Crystal Silicon and Germanium at an Angle of 60°

    Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

  2. Наноструктурирование поверхности полупроводников ионно-кластерным пучком аргона

    Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › Research › peer-review

  3. Ионно-кластерная обработка поверхности монокристаллических кремния и германия под углом 60˚

    Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

View all (13) »

Activities

  1. 9th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects

    Activity: Participating in or organising an event › Participating in a conference, workshop, ...

  2. 53-я международная Тулиновской конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами

    Activity: Participating in or organising an event › Participating in a conference, workshop, ...

  3. X Международная конференция «Лазерные, плазменные исследования и технологии ЛаПлаз-2024»

    Activity: Participating in or organising an event › Participating in a conference, workshop, ...

View all (5) »

ID: 3536595