Applied Physics Division

Contact

Laboratory of functional diagnostics of low-dimensional structures for nanoelectronics

Contact

    Research areas

  • QC Physics

Research output

  1. Сглаживание шлифованной поверхности монокристаллического германия ионно-кластерным пучком аргона

    Research output: Contribution to conference › Abstract › peer-review

  2. Взаимодействие кластерных ионов аргона с поверхностью кремния и германия под углом 60°

    Research output: Contribution to conference › Abstract › peer-review

  3. Способ формирования интенсивного пучка газовых частиц для модификации поверхности материалов, основанный на технологии газовых кластерных ионов

    Research output: Patent › Patent for invention

View all (57) »

Activities

  1. XXVI Международная конференция «Взаимодействие ионов с поверхностью» 21-25 августа 2023г.

    Activity: Participating in or organising an event › Participating in a conference, workshop, ...

  2. Физика низкотемпературной плазмы (ФНТП-2023): Всероссийская (с международным участием) конференция

    Activity: Participating in or organising an event › Participating in a conference, workshop, ...

  3. 52-й международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами

    Activity: Participating in or organising an event › Participating in a conference, workshop, ...

View all (15) »

ID: 12592622