1 - 10 out of 61Page size: 10
  1. 2025

  2. Effect of Deposition and Annealing Temperatures on the Phase Composition of TiO2 Films Obtained by Atomic Layer Deposition from Titanium Tetrachloride and Water

    Khizhnyak, E. A., Shayapov, V. R., Korolkov, I. V., Dudkina, S. P., Geydt, P. V. & Lebedev, M. S., 10 Mar 2025, In: Journal of Structural Chemistry. 66, 2, p. 293-303 11 p.

    Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

  3. Highly textured AlN films deposited by pulsed DC magnetron sputtering with optimized process parameters

    Shayapov, V. R., Bogoslovtseva, A. L., Chepkasov, S. Y., Kapishnikov, A. V., Mironova, M. I. & Geydt, P. V., 1 Mar 2025, In: Solid State Communications. 397, 115821.

    Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

  4. 2024

  5. Способ измерения коэффициента поглощения оксида германия средствами ИК-спектроскопии

    Володин, В. А. & Гейдт, П. В., 28 Dec 2024, Редакционно-издательский центр НГУ, Patent No. 123, 28 Dec 2024, Priority date 28 Dec 2024

    Research output: Patent › Know-how registration

  6. Способ измерения латерального размера литографического рисунка с помощью сканирующего зондового микроскопа.

    Николаев, И. В. & Гейдт, П. В., 28 Dec 2024, Редакционно-издательский центр НГУ, Patent No. 125, 28 Dec 2024, Priority date 28 Dec 2024

    Research output: Patent › Know-how registration

  7. Способ измерения модуля упругости полистирола и других полимеров с помощью сканирующего зондового микроскопа

    Николаев, И. В. & Гейдт, П. В., 28 Dec 2024, Редакционно-издательский центр НГУ, Patent No. 124, 28 Dec 2024, Priority date 28 Dec 2024

    Research output: Patent › Know-how registration

  8. Preparation of C12A7 nanoparticles by laser vaporization and their phase transformations during thermal treatment

    Kapishnikov, A., Snytnikov, V., Gerasimov, E., Volodin, V., Volodin, A. & Geydt, P., 22 Nov 2024, (E-pub ahead of print) In: Ceramics International.

    Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

  9. The obtaining aluminum nitride films on the aluminum sublayer by pulsed DC magnetron sputtering

    Богословцева, А. Л., Капишников, А. В., Шаяпов, В. Р., Чепкасов, С. Ю. & Гейдт, П. В., 2024, PROCEEDINGS OF 9TH INTERNATIONAL CONGRESS ON ENERGY FLUXES AND RADIATION EFFECTS .

    Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › Research › peer-review

  10. THE OBTAINING ALUMINUM NITRIDE FILMS ON THE ALUMINUM SUBLAYER BY PULSED DC MAGNETRON SPUTTERING

    Богословцева, А. Л., Капишников, А. В., Шаяпов, В. Р., Чепкасов, С. Ю. & Гейдт, П. В., 2024.

    Research output: Contribution to conference › Abstract

  11. Получение пленок AlN/Al на Si методом импульсного магнетронного распыления для активного слоя ОАВ-резонаторов

    Богословцева, А. Л., Капишников, А. В. & Гейдт, П. В., 2024, In: Техника радиосвязи. 1 (60), p. 75-83 9 p., 7.

    Research output: Contribution to journal › Conference article › peer-review

  12. 2023

  13. Chemical Composition, Structure, and Physical Properties of AlN Films Produced via Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering

    Shayapov, V. R., Bogoslovtseva, A. L., Chepkasov, S. Y., Asanov, I. P., Maksimovskiy, E. A., Kapishnikov, A. V., Mironova, M. I., Lapega, A. V. & Geydt, P. V., Jul 2023, In: Coatings. 13, 7, 13 p., 1281.

    Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

Previous 1 2 3 4 5 6 7 Next

ID: 17839471