Research output

1. Chemical Composition, Structure, and Physical Properties of AlN Films Produced via Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering

   Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

2. Аналитический и технологический исследовательский центр "Высокие технологии и наноструктурированные материалы" ФФ НГУ: история, становление и достигнутые результаты

   Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

3. Способ и устройство управления концентрацией азота в пленках AlN получаемых при магнетронном распылении

   Research output: Patent › Know-how registration

View all (6) »