1 - 10 out of 21Page size: 10
  1. 2025

  2. Effect of substrate temperature on the mechanical stresses in aluminum nitride films prepared by pulsed DC magnetron sputtering

    Шаяпов, В. Р., Богословцева, А. Л., Чепкасов, С. Ю., Капишников, А. В., Milekhin, I., Миронова, М. И. & Гейдт, П. В., 17 Dec 2025, In: Physica Scripta. 100, 12, 9 p., 125935.

    Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

  3. Highly textured AlN films deposited by pulsed DC magnetron sputtering with optimized process parameters

    Shayapov, V. R., Bogoslovtseva, A. L., Chepkasov, S. Y., Kapishnikov, A. V., Mironova, M. I. & Geydt, P. V., 1 Mar 2025, In: Solid State Communications. 397, 115821.

    Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

  4. THE INVESTIGATION OF AlN FILM THICKNESS IMPACT GROWN BY MAGNETRON SPUTTERING ON OPTICAL PROPERTIES IN THE IR AND THz RANGES

    Шевченко, О. Н., Николаев, Н. А., Рыбак, А. А., Богословцева, А. Л., Гейдт, П. В., Чепкасов, С. Ю. & Максимовский, Е. А., 2025, p. 87. 1 p.

    Research output: Contribution to conference › Abstract

  5. Изучение акустических и оптических свойств пленок нитрида алюминия»

    Богословцева, А. Л., Шевченко, О. Н. & Гейдт, П. В., 2025, p. 277-279. 2 p.

    Research output: Contribution to conference › Abstract

  6. МЕХАНИЧЕСКИЕ НАПРЯЖЕНИЯ В ПЛЕНКАХ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ

    Богословцева, А. Л., Шаяпов, В. Р., Капишников, А. В., Чепкасов, С. Ю. & Гейдт, П. В., 2025, p. 58-60. 2 p.

    Research output: Contribution to conference › Abstract

  7. Структура пьезоэлектрических пленок AIN, полученных методом магнетронного распыления на Si (100)

    Богословцева, А. Л. & Гейдт, П. В., 2025, p. 22.

    Research output: Contribution to conference › Abstract

  8. 2024

  9. THE OBTAINING ALUMINUM NITRIDE FILMS ON THE ALUMINUM SUBLAYER BY PULSED DC MAGNETRON SPUTTERING

    Богословцева, А. Л., Капишников, А. В., Шаяпов, В. Р., Чепкасов, С. Ю. & Гейдт, П. В., 2024, 9th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects.

    Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › Research

  10. Влияние доли азота на получение пленок AlN методом импульсного магнетронного распыления

    Богословцева, А. Л., 2024, p. 249. 1 p.

    Research output: Contribution to conference › Abstract

  11. Получение пленок AlN/Al на Si методом импульсного магнетронного распыления для активного слоя ОАВ-резонаторов

    Богословцева, А. Л., Капишников, А. В. & Гейдт, П. В., 2024, In: Техника радиосвязи. 1 (60), p. 75-83 9 p., 7.

    Research output: Contribution to journal › Conference article › peer-review

  12. 2023

  13. Chemical Composition, Structure, and Physical Properties of AlN Films Produced via Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering

    Shayapov, V. R., Bogoslovtseva, A. L., Chepkasov, S. Y., Asanov, I. P., Maksimovskiy, E. A., Kapishnikov, A. V., Mironova, M. I., Lapega, A. V. & Geydt, P. V., Jul 2023, In: Coatings. 13, 7, 13 p., 1281.

    Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

Previous 1 2 3 Next

ID: 3496846