1 - 10 out of 17Page size: 10
  1. 2025

  2. Highly textured AlN films deposited by pulsed DC magnetron sputtering with optimized process parameters

    Shayapov, V. R., Bogoslovtseva, A. L., Chepkasov, S. Y., Kapishnikov, A. V., Mironova, M. I. & Geydt, P. V., 1 Mar 2025, In: Solid State Communications. 397, 115821.

    Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

  3. 2024

  4. The obtaining aluminum nitride films on the aluminum sublayer by pulsed DC magnetron sputtering

    Богословцева, А. Л., Капишников, А. В., Шаяпов, В. Р., Чепкасов, С. Ю. & Гейдт, П. В., 2024, PROCEEDINGS OF 9TH INTERNATIONAL CONGRESS ON ENERGY FLUXES AND RADIATION EFFECTS .

    Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › Research › peer-review

  5. THE OBTAINING ALUMINUM NITRIDE FILMS ON THE ALUMINUM SUBLAYER BY PULSED DC MAGNETRON SPUTTERING

    Богословцева, А. Л., Капишников, А. В., Шаяпов, В. Р., Чепкасов, С. Ю. & Гейдт, П. В., 2024.

    Research output: Contribution to conference › Abstract

  6. Влияние доли азота на получение пленок AlN методом импульсного магнетронного распыления

    Богословцева, А. Л., 2024.

    Research output: Contribution to conference › Abstract

  7. ПОЛУЧЕНИЕ ПЛЕНОК AlN/AL НА Si МЕТОДОМ ИМПУЛЬСНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ДЛЯ АКТИВНОГО СЛОЯ ОАВ-РЕЗОНАТОРОВ

    Богословцева, А. Л., Капишников, А. В. & Гейдт, П. В., 2024, In: Техника радиосвязи. 1, 60

    Research output: Contribution to journal › Conference article › peer-review

  8. 2023

  9. Chemical Composition, Structure, and Physical Properties of AlN Films Produced via Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering

    Shayapov, V. R., Bogoslovtseva, A. L., Chepkasov, S. Y., Asanov, I. P., Maksimovskiy, E. A., Kapishnikov, A. V., Mironova, M. I., Lapega, A. V. & Geydt, P. V., Jul 2023, In: Coatings. 13, 7, 13 p., 1281.

    Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

  10. Silicon surface patterning by glow discharge plasma

    Petrova, A. V., Bogoslovtseva, A. L., Starinskiy, S. V. & Safonov, A. I., Jun 2023, In: Journal of Applied Mechanics and Technical Physics. 64, 3, p. 472-477 6 p.

    Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

  11. Oil–Water Separation on Hydrophobic and Superhydrophobic Membranes Made of Stainless Steel Meshes with Fluoropolymer Coatings

    Melnik, A., Bogoslovtseva, A., Petrova, A., Safonov, A. & Markides, C. N., Apr 2023, In: Water (Switzerland). 15, 7, 1346.

    Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

  12. Получение пленок AlN/Al на Si методом импульсного магнетронного распыления для активного слоя ОАВ резонаторов

    Богословцева, А. Л., 2023.

    Research output: Contribution to conference › Abstract

  13. Получение пленок AlN/Al на Si методом импульсного магнетронного распыления для активного слоя ОАВ-резонаторов

    Богословцева, А. Л., Капишников, А. В. & Гейдт, П. В., 2023, Сборник тезисов VII Международной научно-технической конференции «Радиотехника, электроника и связь» (РЭиС-2023). p. 247

    Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › Research › peer-review

Previous 1 2 Next

ID: 3496846