1 - 10 out of 25Page size: 10
  1. 2026

  2. Study of the Lattice Structure and Sound Velocity in AlN Films on a Silicon Substrate for the Development of Acoustic Resonators

    Bogoslovtseva, A. L., Shevchenko, O. N., Nikolaev, N. A., Rybak, A. A., Gribanov, D. S., Adishchev, S. V., Dobrynina, E. A., Chepkasov, S. Y. & Geydt, P. V., 11 Jun 2026, In: Optoelectronics, Instrumentation and Data Processing. 62, 1, p. 54-62 9 p.

    Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

  3. АКУСТИЧЕСКИЕ РЕЗОНАТОРЫ ГГц-ДИАПАЗОНА С БРЭГГОВСКИМ ОТРАЖАТЕЛЕМ, ВЫРАЩЕННЫЕ МЕТОДОМ ИМПУЛЬСНОГО МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ

    Гейдт, П. В., Чепкасов, С. Ю., Богословцева, А. Л. & Шаяпов, В. Р., 2026, p. 241-242. 2 p.

    Research output: Contribution to conference › Abstract

  4. ВЛИЯНИЕ Al НА ШЕРОХОВАТОСТЬ Мо В БРЭГГОВСКОМ ОТРАЖАТЕЛЕ НА ОСНОВЕ ПАРЫ Al/Mo

    Богословцева, А. Л. & Гейдт, П. В., 2026, p. 297-298. 2 p.

    Research output: Contribution to conference › Abstract

  5. ОПТИЧЕСКАЯ ЭМИССИОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ ПЛАЗМЫ ПРИ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ ПЛЕНОК НИТРИДА АЛЮМИНИЯ

    Шаяпов, В. Р., Чепкасов, С. Ю., Богословцева, А. Л. & Гейдт, П. В., 2026, p. 360-361. 2 p.

    Research output: Contribution to conference › Abstract

  6. 2025

  7. Effect of substrate temperature on the mechanical stresses in aluminum nitride films prepared by pulsed DC magnetron sputtering

    Шаяпов, В. Р., Богословцева, А. Л., Чепкасов, С. Ю., Капишников, А. В., Milekhin, I., Миронова, М. И. & Гейдт, П. В., 17 Dec 2025, In: Physica Scripta. 100, 12, 9 p., 125935.

    Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

  8. Highly textured AlN films deposited by pulsed DC magnetron sputtering with optimized process parameters

    Shayapov, V. R., Bogoslovtseva, A. L., Chepkasov, S. Y., Kapishnikov, A. V., Mironova, M. I. & Geydt, P. V., 1 Mar 2025, In: Solid State Communications. 397, 115821.

    Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

  9. THE INVESTIGATION OF AlN FILM THICKNESS IMPACT GROWN BY MAGNETRON SPUTTERING ON OPTICAL PROPERTIES IN THE IR AND THz RANGES

    Шевченко, О. Н., Николаев, Н. А., Рыбак, А. А., Богословцева, А. Л., Гейдт, П. В., Чепкасов, С. Ю. & Максимовский, Е. А., 2025, p. 87. 1 p.

    Research output: Contribution to conference › Abstract

  10. Изучение акустических и оптических свойств пленок нитрида алюминия»

    Богословцева, А. Л., Шевченко, О. Н. & Гейдт, П. В., 2025, p. 277-279. 2 p.

    Research output: Contribution to conference › Abstract

  11. МЕХАНИЧЕСКИЕ НАПРЯЖЕНИЯ В ПЛЕНКАХ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ

    Богословцева, А. Л., Шаяпов, В. Р., Капишников, А. В., Чепкасов, С. Ю. & Гейдт, П. В., 2025, p. 58-60. 2 p.

    Research output: Contribution to conference › Abstract

  12. Структура пьезоэлектрических пленок AIN, полученных методом магнетронного распыления на Si (100)

    Богословцева, А. Л. & Гейдт, П. В., 2025, p. 22.

    Research output: Contribution to conference › Abstract

Previous 1 2 3 Next

ID: 3496846