1 - 10 из 25Размер страницы: 10
Сортировать по:: Год публикации
  1. 2026

  2. Study of the Lattice Structure and Sound Velocity in AlN Films on a Silicon Substrate for the Development of Acoustic Resonators

    Bogoslovtseva, A. L., Shevchenko, O. N., Nikolaev, N. A., Rybak, A. A., Gribanov, D. S., Adishchev, S. V., Dobrynina, E. A., Chepkasov, S. Y. & Geydt, P. V., 11 июн. 2026, в: Optoelectronics, Instrumentation and Data Processing. 62, 1, стр. 54-62 9 стр.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

  3. АКУСТИЧЕСКИЕ РЕЗОНАТОРЫ ГГц-ДИАПАЗОНА С БРЭГГОВСКИМ ОТРАЖАТЕЛЕМ, ВЫРАЩЕННЫЕ МЕТОДОМ ИМПУЛЬСНОГО МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ

    Гейдт, П. В., Чепкасов, С. Ю., Богословцева, А. Л. & Шаяпов, В. Р., 2026, стр. 241-242. 2 стр.

    Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы

  4. ВЛИЯНИЕ Al НА ШЕРОХОВАТОСТЬ Мо В БРЭГГОВСКОМ ОТРАЖАТЕЛЕ НА ОСНОВЕ ПАРЫ Al/Mo

    Богословцева, А. Л. & Гейдт, П. В., 2026, стр. 297-298. 2 стр.

    Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы

  5. ОПТИЧЕСКАЯ ЭМИССИОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ ПЛАЗМЫ ПРИ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ ПЛЕНОК НИТРИДА АЛЮМИНИЯ

    Шаяпов, В. Р., Чепкасов, С. Ю., Богословцева, А. Л. & Гейдт, П. В., 2026, стр. 360-361. 2 стр.

    Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы

  6. 2025

  7. Effect of substrate temperature on the mechanical stresses in aluminum nitride films prepared by pulsed DC magnetron sputtering

    Шаяпов, В. Р., Богословцева, А. Л., Чепкасов, С. Ю., Капишников, А. В., Milekhin, I., Миронова, М. И. & Гейдт, П. В., 17 дек. 2025, в: Physica Scripta. 100, 12, 9 стр., 125935.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

  8. Highly textured AlN films deposited by pulsed DC magnetron sputtering with optimized process parameters

    Shayapov, V. R., Bogoslovtseva, A. L., Chepkasov, S. Y., Kapishnikov, A. V., Mironova, M. I. & Geydt, P. V., 1 мар. 2025, в: Solid State Communications. 397, 115821.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

  9. THE INVESTIGATION OF AlN FILM THICKNESS IMPACT GROWN BY MAGNETRON SPUTTERING ON OPTICAL PROPERTIES IN THE IR AND THz RANGES

    Шевченко, О. Н., Николаев, Н. А., Рыбак, А. А., Богословцева, А. Л., Гейдт, П. В., Чепкасов, С. Ю. & Максимовский, Е. А., 2025, стр. 87. 1 стр.

    Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы

  10. Изучение акустических и оптических свойств пленок нитрида алюминия»

    Богословцева, А. Л., Шевченко, О. Н. & Гейдт, П. В., 2025, стр. 277-279. 2 стр.

    Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы

  11. МЕХАНИЧЕСКИЕ НАПРЯЖЕНИЯ В ПЛЕНКАХ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ

    Богословцева, А. Л., Шаяпов, В. Р., Капишников, А. В., Чепкасов, С. Ю. & Гейдт, П. В., 2025, стр. 58-60. 2 стр.

    Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы

  12. Структура пьезоэлектрических пленок AIN, полученных методом магнетронного распыления на Si (100)

    Богословцева, А. Л. & Гейдт, П. В., 2025, стр. 22.

    Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы

Назад 1 2 3 Далее

ID: 3496846