1 - 15 out of 15Page size: 20
  1. 2026

  2. Study of the Lattice Structure and Sound Velocity in AlN Films on a Silicon Substrate for the Development of Acoustic Resonators

    Bogoslovtseva, A. L., Shevchenko, O. N., Nikolaev, N. A., Rybak, A. A., Gribanov, D. S., Adishchev, S. V., Dobrynina, E. A., Chepkasov, S. Y. & Geydt, P. V., 11 Jun 2026, In: Optoelectronics, Instrumentation and Data Processing. 62, 1, p. 54-62 9 p.

    Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

  3. АКУСТИЧЕСКИЕ РЕЗОНАТОРЫ ГГц-ДИАПАЗОНА С БРЭГГОВСКИМ ОТРАЖАТЕЛЕМ, ВЫРАЩЕННЫЕ МЕТОДОМ ИМПУЛЬСНОГО МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ

    Гейдт, П. В., Чепкасов, С. Ю., Богословцева, А. Л. & Шаяпов, В. Р., 2026, p. 241-242. 2 p.

    Research output: Contribution to conference › Abstract

  4. ОПТИЧЕСКАЯ ЭМИССИОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ ПЛАЗМЫ ПРИ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ ПЛЕНОК НИТРИДА АЛЮМИНИЯ

    Шаяпов, В. Р., Чепкасов, С. Ю., Богословцева, А. Л. & Гейдт, П. В., 2026, p. 360-361. 2 p.

    Research output: Contribution to conference › Abstract

  5. 2025

  6. Effect of substrate temperature on the mechanical stresses in aluminum nitride films prepared by pulsed DC magnetron sputtering

    Шаяпов, В. Р., Богословцева, А. Л., Чепкасов, С. Ю., Капишников, А. В., Milekhin, I., Миронова, М. И. & Гейдт, П. В., 17 Dec 2025, In: Physica Scripta. 100, 12, 9 p., 125935.

    Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

  7. Features of the Structure and Properties of the ta-C Coatings Deposited from Filtered Flows of the Pulsed Cathodic-Arc Discharge

    Gao, Y., Sakhovsky, K. A., Jiang, S., Chepkasov, S. Y., Jiang, X., Rudenkov, A. S., Makhmanov, U. K., Piliptsou, D. G. & Rogachev, A. V., 8 Jul 2025, In: Eurasian Chemico-Technological Journal. 27, 2, p. 89-100 12 p., 2.

    Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

  8. Highly textured AlN films deposited by pulsed DC magnetron sputtering with optimized process parameters

    Shayapov, V. R., Bogoslovtseva, A. L., Chepkasov, S. Y., Kapishnikov, A. V., Mironova, M. I. & Geydt, P. V., 1 Mar 2025, In: Solid State Communications. 397, 115821.

    Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

  9. THE INVESTIGATION OF AlN FILM THICKNESS IMPACT GROWN BY MAGNETRON SPUTTERING ON OPTICAL PROPERTIES IN THE IR AND THz RANGES

    Шевченко, О. Н., Николаев, Н. А., Рыбак, А. А., Богословцева, А. Л., Гейдт, П. В., Чепкасов, С. Ю. & Максимовский, Е. А., 2025, p. 87. 1 p.

    Research output: Contribution to conference › Abstract

  10. МЕХАНИЧЕСКИЕ НАПРЯЖЕНИЯ В ПЛЕНКАХ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ

    Богословцева, А. Л., Шаяпов, В. Р., Капишников, А. В., Чепкасов, С. Ю. & Гейдт, П. В., 2025, p. 58-60. 2 p.

    Research output: Contribution to conference › Abstract

  11. 2024

  12. THE OBTAINING ALUMINUM NITRIDE FILMS ON THE ALUMINUM SUBLAYER BY PULSED DC MAGNETRON SPUTTERING

    Богословцева, А. Л., Капишников, А. В., Шаяпов, В. Р., Чепкасов, С. Ю. & Гейдт, П. В., 2024, 9th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects.

    Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › Research

  13. 2023

  14. Chemical Composition, Structure, and Physical Properties of AlN Films Produced via Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering

    Shayapov, V. R., Bogoslovtseva, A. L., Chepkasov, S. Y., Asanov, I. P., Maksimovskiy, E. A., Kapishnikov, A. V., Mironova, M. I., Lapega, A. V. & Geydt, P. V., Jul 2023, In: Coatings. 13, 7, 13 p., 1281.

    Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

  15. 2022

  16. Аналитический и технологический исследовательский центр "Высокие технологии и наноструктурированные материалы" ФФ НГУ: история, становление и достигнутые результаты

    Гейдт, П. В., Аржанников, А. В., Асеев, А. Л., Шкляев, А. А., Володин, В. А., Азаров, И. А., Зайковский, В. И., Utkin, D., Ларичев, Ю. В., Чепкасов, С. Ю. & Кузнецов, С. А., 17 Dec 2022, In: Сибирский физический журнал. 17, 3, p. 66-88 23 p., 9.

    Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

  17. 2021

  18. Способ и устройство управления концентрацией азота в пленках AlN получаемых при магнетронном распылении

    Гейдт, П. В. & Чепкасов, С. Ю., 29 Dec 2021, Редакционно-издательский центр НГУ, Patent No. 52, Priority date 28 Dec 2021

    Research output: Patent › Know-how registration

  19. 2020

  20. The effect of the substrate spatial orientation on the properties of amorphous carbon coatings deposited from pulse plasma flows

    Chepkasov, S., Khomyakov, M., Zolkin, A., Maksimovskii, E. & Piliptsou, D., 14 Sept 2020, Proceedings - 2020 7th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects, EFRE 2020. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., p. 856-862 7 p. 9242030. (Proceedings - 2020 7th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects, EFRE 2020).

    Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › Research › peer-review

  21. 2018

  22. Properties of ta-C coatings prepared by pulsed cathodic arc source at various distances

    Chepkasov, S., Zolkin, A., Piliptsou, D., Gladkikh, E. & Kravchuk, K., 27 Nov 2018, In: Journal of Physics: Conference Series. 1115, 3, 6 p., 032066.

    Research output: Contribution to journal › Conference article › peer-review

  23. Synthesis of amorphous hydrogenated carbon (a-C: H) films on Germanium by the use of the linear anode layer source

    Zolkin, A., Semerikova, A., Chepkasov, S. & Khomyakov, M., 27 Nov 2018, In: Journal of Physics: Conference Series. 1115, 3, 6 p., 032095.

    Research output: Contribution to journal › Conference article › peer-review

ID: 12586369