Способ и устройство управления концентрацией азота в пленках AlN получаемых при магнетронном распылении › Research Explorer

Novosibirsk State University's Research Portal

Способ и устройство управления концентрацией азота в пленках AlN получаемых при магнетронном распылении

Research output: Patent › Know-how registration

Documents

НОУ-ХАУ № 52
8.98 MB, PDF document

Павел Викторович Гейдт (Author)
Сергей Юрьевич Чепкасов (Author)

Original language	Russian
Patent number	52
Priority date	28.12.2021
Publication status	Published - 29 Dec 2021

State classification of scientific and technological information

29.19.22 Physics of nanostructures. Diskeraser-wide structure. Mesoscopic structures

ID: 35034538