1 - 10 out of 15Page size: 10
  1. 2026

  2. Study of the Lattice Structure and Sound Velocity in AlN Films on a Silicon Substrate for the Development of Acoustic Resonators

    Bogoslovtseva, A. L., Shevchenko, O. N., Nikolaev, N. A., Rybak, A. A., Gribanov, D. S., Adishchev, S. V., Dobrynina, E. A., Chepkasov, S. Y. & Geydt, P. V., 11 Jun 2026, In: Optoelectronics, Instrumentation and Data Processing. 62, 1, p. 54-62 9 p.

    Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

  3. АКУСТИЧЕСКИЕ РЕЗОНАТОРЫ ГГц-ДИАПАЗОНА С БРЭГГОВСКИМ ОТРАЖАТЕЛЕМ, ВЫРАЩЕННЫЕ МЕТОДОМ ИМПУЛЬСНОГО МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ

    Гейдт, П. В., Чепкасов, С. Ю., Богословцева, А. Л. & Шаяпов, В. Р., 2026, p. 241-242. 2 p.

    Research output: Contribution to conference › Abstract

  4. ОПТИЧЕСКАЯ ЭМИССИОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ ПЛАЗМЫ ПРИ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ ПЛЕНОК НИТРИДА АЛЮМИНИЯ

    Шаяпов, В. Р., Чепкасов, С. Ю., Богословцева, А. Л. & Гейдт, П. В., 2026, p. 360-361. 2 p.

    Research output: Contribution to conference › Abstract

  5. 2025

  6. Effect of substrate temperature on the mechanical stresses in aluminum nitride films prepared by pulsed DC magnetron sputtering

    Шаяпов, В. Р., Богословцева, А. Л., Чепкасов, С. Ю., Капишников, А. В., Milekhin, I., Миронова, М. И. & Гейдт, П. В., 17 Dec 2025, In: Physica Scripta. 100, 12, 9 p., 125935.

    Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

  7. Features of the Structure and Properties of the ta-C Coatings Deposited from Filtered Flows of the Pulsed Cathodic-Arc Discharge

    Gao, Y., Sakhovsky, K. A., Jiang, S., Chepkasov, S. Y., Jiang, X., Rudenkov, A. S., Makhmanov, U. K., Piliptsou, D. G. & Rogachev, A. V., 8 Jul 2025, In: Eurasian Chemico-Technological Journal. 27, 2, p. 89-100 12 p., 2.

    Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

  8. Highly textured AlN films deposited by pulsed DC magnetron sputtering with optimized process parameters

    Shayapov, V. R., Bogoslovtseva, A. L., Chepkasov, S. Y., Kapishnikov, A. V., Mironova, M. I. & Geydt, P. V., 1 Mar 2025, In: Solid State Communications. 397, 115821.

    Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

  9. THE INVESTIGATION OF AlN FILM THICKNESS IMPACT GROWN BY MAGNETRON SPUTTERING ON OPTICAL PROPERTIES IN THE IR AND THz RANGES

    Шевченко, О. Н., Николаев, Н. А., Рыбак, А. А., Богословцева, А. Л., Гейдт, П. В., Чепкасов, С. Ю. & Максимовский, Е. А., 2025, p. 87. 1 p.

    Research output: Contribution to conference › Abstract

  10. МЕХАНИЧЕСКИЕ НАПРЯЖЕНИЯ В ПЛЕНКАХ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ

    Богословцева, А. Л., Шаяпов, В. Р., Капишников, А. В., Чепкасов, С. Ю. & Гейдт, П. В., 2025, p. 58-60. 2 p.

    Research output: Contribution to conference › Abstract

  11. 2024

  12. THE OBTAINING ALUMINUM NITRIDE FILMS ON THE ALUMINUM SUBLAYER BY PULSED DC MAGNETRON SPUTTERING

    Богословцева, А. Л., Капишников, А. В., Шаяпов, В. Р., Чепкасов, С. Ю. & Гейдт, П. В., 2024, 9th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects.

    Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › Research

  13. 2023

  14. Chemical Composition, Structure, and Physical Properties of AlN Films Produced via Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering

    Shayapov, V. R., Bogoslovtseva, A. L., Chepkasov, S. Y., Asanov, I. P., Maksimovskiy, E. A., Kapishnikov, A. V., Mironova, M. I., Lapega, A. V. & Geydt, P. V., Jul 2023, In: Coatings. 13, 7, 13 p., 1281.

    Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

Previous 1 2 Next

ID: 12586369