11 - 20 из 21Размер страницы: 10
Сортировать по:: Год публикации
  1. 2023

  2. Silicon surface patterning by glow discharge plasma

    Petrova, A. V., Bogoslovtseva, A. L., Starinskiy, S. V. & Safonov, A. I., июн. 2023, в: Journal of Applied Mechanics and Technical Physics. 64, 3, стр. 472-477 6 стр.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

  3. Chemical Composition, Structure, and Physical Properties of AlN Films Produced via Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering

    Shayapov, V. R., Bogoslovtseva, A. L., Chepkasov, S. Y., Asanov, I. P., Maksimovskiy, E. A., Kapishnikov, A. V., Mironova, M. I., Lapega, A. V. & Geydt, P. V., июл. 2023, в: Coatings. 13, 7, 13 стр., 1281.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

  4. 2024

  5. THE OBTAINING ALUMINUM NITRIDE FILMS ON THE ALUMINUM SUBLAYER BY PULSED DC MAGNETRON SPUTTERING

    Богословцева, А. Л., Капишников, А. В., Шаяпов, В. Р., Чепкасов, С. Ю. & Гейдт, П. В., 2024, 9th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects.

    Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная

  6. Влияние доли азота на получение пленок AlN методом импульсного магнетронного распыления

    Богословцева, А. Л. & Гейдт, П. В., 2024, стр. 249. 1 стр.

    Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы › Рецензирование

  7. Получение пленок AlN/Al на Si методом импульсного магнетронного распыления для активного слоя ОАВ-резонаторов

    Богословцева, А. Л., Капишников, А. В. & Гейдт, П. В., 2024, в: Техника радиосвязи. 1 (60), стр. 75-83 9 стр., 7.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья по материалам конференции › Рецензирование

  8. 2025

  9. THE INVESTIGATION OF AlN FILM THICKNESS IMPACT GROWN BY MAGNETRON SPUTTERING ON OPTICAL PROPERTIES IN THE IR AND THz RANGES

    Шевченко, О. Н., Николаев, Н. А., Рыбак, А. А., Богословцева, А. Л., Гейдт, П. В., Чепкасов, С. Ю. & Максимовский, Е. А., 2025, стр. 87. 1 стр.

    Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы

  10. Изучение акустических и оптических свойств пленок нитрида алюминия»

    Богословцева, А. Л., Шевченко, О. Н. & Гейдт, П. В., 2025, стр. 277-279. 2 стр.

    Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы

  11. МЕХАНИЧЕСКИЕ НАПРЯЖЕНИЯ В ПЛЕНКАХ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ

    Богословцева, А. Л., Шаяпов, В. Р., Капишников, А. В., Чепкасов, С. Ю. & Гейдт, П. В., 2025, стр. 58-60. 2 стр.

    Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы

  12. Структура пьезоэлектрических пленок AIN, полученных методом магнетронного распыления на Si (100)

    Богословцева, А. Л. & Гейдт, П. В., 2025, стр. 22.

    Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы

  13. Highly textured AlN films deposited by pulsed DC magnetron sputtering with optimized process parameters

    Shayapov, V. R., Bogoslovtseva, A. L., Chepkasov, S. Y., Kapishnikov, A. V., Mironova, M. I. & Geydt, P. V., 1 мар. 2025, в: Solid State Communications. 397, 115821.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

Назад 1 2 3 Далее

ID: 3496846