1. 2023
  2. Silicon surface patterning by glow discharge plasma

    Petrova, A. V., Bogoslovtseva, A. L., Starinskiy, S. V. & Safonov, A. I., июн. 2023, в: Journal of Applied Mechanics and Technical Physics. 64, 3, стр. 472-477 6 стр.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьяРецензирование

  3. Chemical Composition, Structure, and Physical Properties of AlN Films Produced via Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering

    Shayapov, V. R., Bogoslovtseva, A. L., Chepkasov, S. Y., Asanov, I. P., Maksimovskiy, E. A., Kapishnikov, A. V., Mironova, M. I., Lapega, A. V. & Geydt, P. V., июл. 2023, в: Coatings. 13, 7, 13 стр., 1281.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьяРецензирование

Назад 1 2 Далее

ID: 3496846