Chemical Composition, Structure, and Physical Properties of AlN Films Produced via Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering › Обзор исследований

DOI

https://doi.org/10.3390/coatings13071281
Конечная издательская версия

Язык оригинала	английский
Номер статьи	1281
Число страниц	13
Журнал	Coatings
Том	13
Номер выпуска	7
DOI	https://doi.org/10.3390/coatings13071281
Состояние	Опубликовано - июл. 2023

Предметные области OECD FOS+WOS

2.05 ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ

ID: 55449323