Результаты исследований

1. Effect of substrate temperature on the mechanical stresses in aluminum nitride films prepared by pulsed DC magnetron sputtering

   Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

2. Effect of Deposition and Annealing Temperatures on the Phase Composition of TiO2 Films Obtained by Atomic Layer Deposition from Titanium Tetrachloride and Water

   Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

3. Highly textured AlN films deposited by pulsed DC magnetron sputtering with optimized process parameters

   Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

Просмотреть все (8) »