Лаборатория функциональной диагностики низкоразмерных структур для наноэлектроники

Контактное лицо

Научные интересы

Исследование тонких пленок оптическими методами

Результаты исследований

  1. Chemical Composition, Structure, and Physical Properties of AlN Films Produced via Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьяРецензирование

Просмотреть все (1) »

ID: 36957520