Результаты исследований

1. Highly textured AlN films deposited by pulsed DC magnetron sputtering with optimized process parameters

   Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

2. The obtaining aluminum nitride films on the aluminum sublayer by pulsed DC magnetron sputtering

   Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная › Рецензирование

3. THE OBTAINING ALUMINUM NITRIDE FILMS ON THE ALUMINUM SUBLAYER BY PULSED DC MAGNETRON SPUTTERING

   Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы

Просмотреть все (9) »