Кафедра физики СУНЦ

Контактное лицо

Лаборатория функциональной диагностики низкоразмерных структур для наноэлектроники

Контактное лицо

Научные интересы

Специалист по синтезу наноструктур в дуговом разряде; углеродные структуры; магнетронный рост

Результаты исследований

  1. Chemical Composition, Structure, and Physical Properties of AlN Films Produced via Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьяРецензирование

  2. Способ и устройство управления концентрацией азота в пленках AlN получаемых при магнетронном распылении

    Результаты исследований: Патенты/Свидетельства о регистрациисвидетельство о регистрации ноу-хау

Просмотреть все (6) »

ID: 12586369