Кафедра физики СУНЦ

Контактное лицо

Лаборатория функциональной диагностики низкоразмерных структур для наноэлектроники

Контактное лицо

Научные интересы

Специалист по синтезу наноструктур в дуговом разряде; углеродные структуры; магнетронный рост

Результаты исследований

  1. Highly textured AlN films deposited by pulsed DC magnetron sputtering with optimized process parameters

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

  2. THE OBTAINING ALUMINUM NITRIDE FILMS ON THE ALUMINUM SUBLAYER BY PULSED DC MAGNETRON SPUTTERING

    Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная

  3. Chemical Composition, Structure, and Physical Properties of AlN Films Produced via Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

Просмотреть все (8) »

Научная деятельность

  1. 9th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects

    Деятельность: Участие в мероприятии или организация мероприятия. › Участие в конференции, заседании рабочей группы, ...

Просмотреть все (1) »

ID: 12586369