Лаборатория функциональной диагностики низкоразмерных структур для наноэлектроники

Контактное лицо

Кафедра физики СУНЦ

Контактное лицо

Научные интересы

Специалист по синтезу наноструктур в дуговом разряде; углеродные структуры; магнетронный рост

Результаты исследований

  1. Effect of substrate temperature on the mechanical stresses in aluminum nitride films prepared by pulsed DC magnetron sputtering

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

  2. Features of the Structure and Properties of the ta-C Coatings Deposited from Filtered Flows of the Pulsed Cathodic-Arc Discharge

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

  3. Highly textured AlN films deposited by pulsed DC magnetron sputtering with optimized process parameters

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

Просмотреть все (12) »

Научная деятельность

  1. 9th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects

    Деятельность: Участие в мероприятии или организация мероприятия. › Участие в конференции, заседании рабочей группы, ...

Просмотреть все (1) »

ID: 12586369