Лаборатория функциональной диагностики низкоразмерных структур для наноэлектроники ФФ

Контактное лицо

Научные интересы

Специалист по синтезу наноструктур в дуговом разряде; углеродные структуры; магнетронный рост

Результаты исследований

  1. Study of the Lattice Structure and Sound Velocity in AlN Films on a Silicon Substrate for the Development of Acoustic Resonators

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

  2. АКУСТИЧЕСКИЕ РЕЗОНАТОРЫ ГГц-ДИАПАЗОНА С БРЭГГОВСКИМ ОТРАЖАТЕЛЕМ, ВЫРАЩЕННЫЕ МЕТОДОМ ИМПУЛЬСНОГО МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ

    Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы

  3. ОПТИЧЕСКАЯ ЭМИССИОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ ПЛАЗМЫ ПРИ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ ПЛЕНОК НИТРИДА АЛЮМИНИЯ

    Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы

Просмотреть все (15) »

Научная деятельность

  1. 9th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects

    Деятельность: Участие в мероприятии или организация мероприятия. › Участие в конференции, заседании рабочей группы, ...

Просмотреть все (1) »

ID: 12586369