Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья по материалам конференции › Рецензирование
Переведенное название | Deposition of AlN/Al on Si by pulsed magnetron sputtering for the active layer of BAW resonators |
---|---|
Язык оригинала | русский |
Номер статьи | 7 |
Страницы (с-по) | 75-83 |
Число страниц | 9 |
Журнал | Техника радиосвязи |
Номер выпуска | 1 (60) |
Состояние | Опубликовано - 2024 |
ID: 61325130