Лаборатория функциональной диагностики низкоразмерных структур для наноэлектроники

Контактное лицо

Научные интересы

Исследование морфологии поверхности, элементного состава, фазового состава, структуры методами сканирующей электронной микроскопии, энергодисперсионной спектроскопии, дифракции обратно-рассеяных электронов

Результаты исследований

  1. Chemical Composition, Structure, and Physical Properties of AlN Films Produced via Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьяРецензирование

  2. Kinetics of gold-induced layer exchange crystallization of amorphous silicon suboxide films: Experimental and theoretical study

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьяРецензирование

  3. Stability of graphene film on copper, silicon, and glass substrates in contact with boiling water

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьяРецензирование

Просмотреть все (33) »

ID: 3450490