Лаборатория функциональной диагностики низкоразмерных структур для наноэлектроники

Контактное лицо

    Области исследований

  • QC Physics

Научные интересы

Осаждение тонких пленок

2022 - магистерский диплом на тему: Осаждение фторполимерных покрытий на поверхности с развитой геометрией методом Hot Wire Chemical Vapor Deposition

2020 - бакалаврский диплом на тему: Влияние газодинамических 
параметров на процесс осаждения фторполимерных покрытий 
методом Hot Wire Chemical Vapor Deposition

 

Результаты исследований

  1. Effect of substrate temperature on the mechanical stresses in aluminum nitride films prepared by pulsed DC magnetron sputtering

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

  2. Highly textured AlN films deposited by pulsed DC magnetron sputtering with optimized process parameters

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

  3. THE INVESTIGATION OF AlN FILM THICKNESS IMPACT GROWN BY MAGNETRON SPUTTERING ON OPTICAL PROPERTIES IN THE IR AND THz RANGES

    Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы

Просмотреть все (21) »

Научная деятельность

  1. Школа молодых ученых «Актуальные проблемы полупроводниковых наносистем»

    Деятельность: Участие в мероприятии или организация мероприятия. › Участие в конференции, заседании рабочей группы, ...

  2. VIII Международная научно-техническая конференция "Радиотехника, электроника и связь"

    Деятельность: Участие в мероприятии или организация мероприятия. › Участие в конференции, заседании рабочей группы, ...

  3. Всероссийская научная конференция с международным участием «Пятый Байкальский материаловедческий форум»

    Деятельность: Участие в мероприятии или организация мероприятия. › Участие в конференции, заседании рабочей группы, ...

Просмотреть все (5) »

ID: 3496846