Лаборатория функциональной диагностики низкоразмерных структур для наноэлектроники

Контактное лицо

    Области исследований

  • QC Physics

Научные интересы

Осаждение тонких пленок

2022 - магистерский диплом на тему: Осаждение фторполимерных покрытий на поверхности с развитой геометрией методом Hot Wire Chemical Vapor Deposition

2020 - бакалаврский диплом на тему: Влияние газодинамических 
параметров на процесс осаждения фторполимерных покрытий 
методом Hot Wire Chemical Vapor Deposition

 

Результаты исследований

  1. The obtaining aluminum nitride films on the aluminum sublayer by pulsed DC magnetron sputtering

    Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная › Рецензирование

  2. THE OBTAINING ALUMINUM NITRIDE FILMS ON THE ALUMINUM SUBLAYER BY PULSED DC MAGNETRON SPUTTERING

    Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы

  3. Влияние доли азота на получение пленок AlN методом импульсного магнетронного распыления

    Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы

Просмотреть все (16) »

Научная деятельность

  1. 9th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects

    Деятельность: Участие в мероприятии или организация мероприятия. › Участие в конференции, заседании рабочей группы, ...

  2. Всероссийская научная конференция студентов физиков ВНКСФ-28

    Деятельность: Участие в мероприятии или организация мероприятия. › Участие в конференции, заседании рабочей группы, ...

Просмотреть все (2) »

ID: 3496846