Лаборатория функциональной диагностики низкоразмерных структур для наноэлектроники

Контактное лицо

    Области исследований

  • QC Physics

Научные интересы

Осаждение тонких пленок

2022 - магистерский диплом на тему: Осаждение фторполимерных покрытий на поверхности с развитой геометрией методом Hot Wire Chemical Vapor Deposition

2020 - бакалаврский диплом на тему: Влияние газодинамических 
параметров на процесс осаждения фторполимерных покрытий 
методом Hot Wire Chemical Vapor Deposition

 

Результаты исследований

  1. Chemical Composition, Structure, and Physical Properties of AlN Films Produced via Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьяРецензирование

  2. Silicon surface patterning by glow discharge plasma

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьяРецензирование

  3. Oil–Water Separation on Hydrophobic and Superhydrophobic Membranes Made of Stainless Steel Meshes with Fluoropolymer Coatings

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьяРецензирование

Просмотреть все (12) »

ID: 3496846