DOI

Язык оригиналаанглийский
Страницы (с-по)472-477
Число страниц6
ЖурналJournal of Applied Mechanics and Technical Physics
Том64
Номер выпуска3
DOI
СостояниеОпубликовано - июн. 2023

    Предметные области OECD FOS+WOS

  • 1.03 ФИЗИЧЕСКИЕ НАУКИ И АСТРОНОМИЯ

    Области исследований

  • glow discharge, hydrophilicity, oxidation, silicon processing, wettability

ID: 59618401