Лаборатория функциональной диагностики низкоразмерных структур для наноэлектроники

Контактное лицо

    Области исследований

  • QD Chemistry

Научные интересы

Специалист по рентгеновской дифракции тонких кристаллических плёнок и электридной керамики

Результаты исследований

  1. Effect of substrate temperature on the mechanical stresses in aluminum nitride films prepared by pulsed DC magnetron sputtering

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьяРецензирование

  2. Effect of the phase composition of Ca-Al hydroxide precursors on the mayenite formation

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьяРецензирование

  3. Highly textured AlN films deposited by pulsed DC magnetron sputtering with optimized process parameters

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьяРецензирование

Просмотреть все (23) »

Научная деятельность

  1. 9th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects

    Деятельность: Участие в мероприятии или организация мероприятия.Участие в конференции, заседании рабочей группы, ...

  2. VI Международной научно-технической конференция «Радиотехника, электроника и связь»

    Деятельность: Участие в мероприятии или организация мероприятия.Участие в конференции, заседании рабочей группы, ...

Просмотреть все (2) »

ID: 3504746