Отдел прикладной физики ФФ

Контактное лицо

Результаты исследований

  1. Efficient nanopatterning of Ge surface induced by oblique argon cluster ion beam

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьяРецензирование

  2. Effect of Cluster Ion Bombardment on the Roughly Polished Surface of Single-Crystal Germanium Wafers

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьяРецензирование

  3. Влияние ионно-кластерной бомбардировки на грубо полированную поверхность пластин монокристаллического германия

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьяРецензирование

Просмотреть все (8) »

Научная деятельность

  1. Объединённая конференция «Электронно- лучевые технологии и рентгеновская оптика в микроэлектронике»

    Деятельность: Участие в мероприятии или организация мероприятия.Участие в конференции, заседании рабочей группы, ...

Просмотреть все (1) »

ID: 3536595