Отдел прикладной физики ФФ

Контактное лицо

Результаты исследований

  1. Efficient nanopatterning of Ge surface induced by oblique argon cluster ion beam

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьяРецензирование

  2. Сглаживание шлифованной поверхности монокристаллического германия ионно-кластерным пучком аргона

    Результаты исследований: Материалы конференцийтезисыРецензирование

  3. Взаимодействие кластерных ионов аргона с поверхностью кремния и германия под углом 60°

    Результаты исследований: Материалы конференцийтезисыРецензирование

Просмотреть все (7) »

Научная деятельность

  1. Объединённая конференция «Электронно- лучевые технологии и рентгеновская оптика в микроэлектронике»

    Деятельность: Участие в мероприятии или организация мероприятия.Участие в конференции, заседании рабочей группы, ...

Просмотреть все (1) »

ID: 3536595