Ссылки

DOI

Переведенное названиеИсследование решетчатой ​​структуры и скорости звука в пленках AlN на кремниевой подложке для разработки акустических резонаторов
Язык оригиналаанглийский
Страницы (с-по)54-62
Число страниц9
ЖурналOptoelectronics, Instrumentation and Data Processing
Том62
Номер выпуска1
DOI
СостояниеОпубликовано - 11 июн. 2026

    Области исследований

  • терагерцовая спектроскопия во временной области, инфракрасная спектроскопия, скорость звука, AlN, комбинационное рассеяние света

    Предметные области OECD FOS+WOS

  • 1.03.UI ФИЗИКА, МУЛЬТИДИСЦИПЛИНАРНАЯ

ID: 85085314