11 - 20 из 69Размер страницы: 10
Сортировать по:: Год публикации
  1. 2025

  2. Структура пьезоэлектрических пленок AIN, полученных методом магнетронного распыления на Si (100)

    Богословцева, А. Л. & Гейдт, П. В., 2025, стр. 22.

    Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы

  3. 2024

  4. Способ измерения коэффициента поглощения оксида германия средствами ИК-спектроскопии

    Володин, В. А. & Гейдт, П. В., 28 дек. 2024, Редакционно-издательский центр НГУ, Патент/Св-во № 123, 28 дек. 2024, Дата приоритета 28 дек. 2024

    Результаты исследований: Патенты/Свидетельства о регистрации › свидетельство о регистрации ноу-хау

  5. Способ измерения латерального размера литографического рисунка с помощью сканирующего зондового микроскопа.

    Николаев, И. В. & Гейдт, П. В., 28 дек. 2024, Редакционно-издательский центр НГУ, Патент/Св-во № 125, 28 дек. 2024, Дата приоритета 28 дек. 2024

    Результаты исследований: Патенты/Свидетельства о регистрации › свидетельство о регистрации ноу-хау

  6. Способ измерения модуля упругости полистирола и других полимеров с помощью сканирующего зондового микроскопа

    Николаев, И. В. & Гейдт, П. В., 28 дек. 2024, Редакционно-издательский центр НГУ, Патент/Св-во № 124, 28 дек. 2024, Дата приоритета 28 дек. 2024

    Результаты исследований: Патенты/Свидетельства о регистрации › свидетельство о регистрации ноу-хау

  7. THE OBTAINING ALUMINUM NITRIDE FILMS ON THE ALUMINUM SUBLAYER BY PULSED DC MAGNETRON SPUTTERING

    Богословцева, А. Л., Капишников, А. В., Шаяпов, В. Р., Чепкасов, С. Ю. & Гейдт, П. В., 2024, 9th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects.

    Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная

  8. Влияние доли азота на получение пленок AlN методом импульсного магнетронного распыления

    Богословцева, А. Л. & Гейдт, П. В., 2024, стр. 249. 1 стр.

    Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы › Рецензирование

  9. Кремниевая микроэлектроника: современное состояние и перспективы развития, методы диагностики

    Асеев, А. Л. & Гейдт, П. В., 2024, стр. 7. 1 стр.

    Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы › Рецензирование

  10. Получение пленок AlN/Al на Si методом импульсного магнетронного распыления для активного слоя ОАВ-резонаторов

    Богословцева, А. Л., Капишников, А. В. & Гейдт, П. В., 2024, в: Техника радиосвязи. 1 (60), стр. 75-83 9 стр., 7.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья по материалам конференции › Рецензирование

  11. 2023

  12. Chemical Composition, Structure, and Physical Properties of AlN Films Produced via Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering

    Shayapov, V. R., Bogoslovtseva, A. L., Chepkasov, S. Y., Asanov, I. P., Maksimovskiy, E. A., Kapishnikov, A. V., Mironova, M. I., Lapega, A. V. & Geydt, P. V., июл. 2023, в: Coatings. 13, 7, 13 стр., 1281.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

  13. Characterization of Structure, Morphology, Optical and Electrical Properties of AlN–Al–V Multilayer Thin Films Fabricated by Reactive DC Magnetron Sputtering

    Миронова, М. И., Капишников, А. В., Хамуд, Г., Володин, В. А., Азаров, И. А., Юшков, И. Д., Камаев, Г. Н., Супрун, Е., Chirikov, N., Davletkildeev, N. A., Baidakov, A. N., Kovivchak, V. S., Baranova, L. V., Струнин, В. И. & Гейдт, П. В., февр. 2023, в: Coatings. 13, 2, 223.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

Назад 1 2 3 4 5 6 7 Далее

ID: 17839471