Язык оригиналарусский
Номер патента125
Дата приоритета28.12.2024
Дата подачи заявки28.12.2024
СостояниеОпубликовано - 28 дек. 2024

    Области исследований

  • АТОМНО-СИЛОВАЯ МИКРОСКОПИЯ, СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ, НАНОМЕТРОЛОГИЯ, ПОВЕРХНОСТНЫЙ СЛОЙ, НАНОЛИТОГРАФИЯ, МОДИФИКАЦИЯ ПОВЕРХНОСТИ, ЗАРЯДОВАЯ ЛИТОГРАФИЯ, МЕХАНИЧЕССКАЯ ЛИТОГРАФИЯ

    ГРНТИ

  • 47.09.48 Наноматериалы для электроники
  • 29.19.22 Физика наноструктур. Низкоразмер-ные структуры. Мезоскопические структуры
  • 90.27.28 Измерения механических величин

ID: 61325162