DOI

Переведенное названиеEFFECT OF DEPOSITION AND ANNEALING TEMPERATURES ON THE PHASE COMPOSITION OF TIO2 FILMS OBTAINED BY ATOMIC LAYER DEPOSITION FROM TITANIUM TETRACHLORIDE AND WATER
Язык оригиналарусский
Номер статьи140578
ЖурналЖурнал структурной химии
Том66
Номер выпуска2
DOI
СостояниеОпубликовано - 2025

    Предметные области OECD FOS+WOS

  • 1.04 ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ

    Области исследований

  • ДИОКСИД ТИТАНА, АТОМНО-СЛОЕВОЕ ОСАЖДЕНИЕ, ТОНКИЕ ПЛЕНКИ, ОТЖИГ, АНАТАЗ, РУТИЛ

ID: 74043890