Отдел прикладной физики ФФ

Контактное лицо

Лаборатория функциональной диагностики низкоразмерных структур для наноэлектроники

Контактное лицо

Центр НТИ по новым функциональным материалам

Контактное лицо

    Области исследований

  • QC Physics - Морфология и параметры шероховатости поверхности материалов, приповерхностный поврежденный слой, газовая динамика, газофазные ионно-кластерные пучки, оптические материалы

Результаты исследований

  1. Cluster Ion Treatment of the Surface of Single-Crystal Silicon and Germanium at an Angle of 60°

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

  2. Наноструктурирование поверхности полупроводников ионно-кластерным пучком аргона

    Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная › Рецензирование

  3. Ионно-кластерная обработка поверхности монокристаллических кремния и германия под углом 60˚

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

Просмотреть все (70) »

Научная деятельность

  1. 9th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects

    Деятельность: Участие в мероприятии или организация мероприятия. › Участие в конференции, заседании рабочей группы, ...

  2. Теплофизика и физическая гидродинамика

    Деятельность: Участие в мероприятии или организация мероприятия. › Участие в конференции, заседании рабочей группы, ...

  3. 53-я международная Тулиновской конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами

    Деятельность: Участие в мероприятии или организация мероприятия. › Участие в конференции, заседании рабочей группы, ...

Просмотреть все (20) »

Награды

  1. I DEGREE DIPLOMA for contribution to research of Modification of materials properties

    Награда: Почетная награда

Просмотреть все (1) »

ID: 12592622