Отдел прикладной физики ФФ

Контактное лицо

Лаборатория функциональной диагностики низкоразмерных структур для наноэлектроники

Контактное лицо

    Области исследований

  • QC Physics - Морфология и параметры шероховатости поверхности материалов, приповерхностный поврежденный слой, газовая динамика, газофазные ионно-кластерные пучки, оптические материалы

Результаты исследований

  1. Наноструктурирование поверхности полупроводников ионно-кластерным пучком аргона

    Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная › Рецензирование

  2. Способ измерения латерального размера литографического рисунка с помощью сканирующего зондового микроскопа.

    Результаты исследований: Патенты/Свидетельства о регистрации › свидетельство о регистрации ноу-хау

  3. Способ измерения модуля упругости полистирола и других полимеров с помощью сканирующего зондового микроскопа

    Результаты исследований: Патенты/Свидетельства о регистрации › свидетельство о регистрации ноу-хау

Просмотреть все (68) »

Научная деятельность

  1. 9th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects

    Деятельность: Участие в мероприятии или организация мероприятия. › Участие в конференции, заседании рабочей группы, ...

  2. Теплофизика и физическая гидродинамика

    Деятельность: Участие в мероприятии или организация мероприятия. › Участие в конференции, заседании рабочей группы, ...

  3. 53-я международная Тулиновской конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами

    Деятельность: Участие в мероприятии или организация мероприятия. › Участие в конференции, заседании рабочей группы, ...

Просмотреть все (20) »

Награды

  1. I DEGREE DIPLOMA for contribution to research of Modification of materials properties

    Награда: Почетная награда

Просмотреть все (1) »

ID: 12592622