1. Chemical Composition, Structure, and Physical Properties of AlN Films Produced via Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering

    Shayapov, V. R., Bogoslovtseva, A. L., Chepkasov, S. Y., Asanov, I. P., Maksimovskiy, E. A., Kapishnikov, A. V., Mironova, M. I., Lapega, A. V. & Geydt, P. V., июл. 2023, в: Coatings. 13, 7, 13 стр., 1281.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

  2. Effect of substrate temperature on the mechanical stresses in aluminum nitride films prepared by pulsed DC magnetron sputtering

    Шаяпов, В. Р., Богословцева, А. Л., Чепкасов, С. Ю., Капишников, А. В., Milekhin, I., Миронова, М. И. & Гейдт, П. В., 17 дек. 2025, в: Physica Scripta. 100, 12, 9 стр., 125935.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

  3. Features of the Structure and Properties of the ta-C Coatings Deposited from Filtered Flows of the Pulsed Cathodic-Arc Discharge

    Gao, Y., Sakhovsky, K. A., Jiang, S., Chepkasov, S. Y., Jiang, X., Rudenkov, A. S., Makhmanov, U. K., Piliptsou, D. G. & Rogachev, A. V., 8 июл. 2025, в: Eurasian Chemico-Technological Journal. 27, 2, стр. 89-100 12 стр., 2.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

  4. Highly textured AlN films deposited by pulsed DC magnetron sputtering with optimized process parameters

    Shayapov, V. R., Bogoslovtseva, A. L., Chepkasov, S. Y., Kapishnikov, A. V., Mironova, M. I. & Geydt, P. V., 1 мар. 2025, в: Solid State Communications. 397, 115821.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

  5. Properties of ta-C coatings prepared by pulsed cathodic arc source at various distances

    Chepkasov, S., Zolkin, A., Piliptsou, D., Gladkikh, E. & Kravchuk, K., 27 нояб. 2018, в: Journal of Physics: Conference Series. 1115, 3, 6 стр., 032066.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья по материалам конференции › Рецензирование

  6. Synthesis of amorphous hydrogenated carbon (a-C: H) films on Germanium by the use of the linear anode layer source

    Zolkin, A., Semerikova, A., Chepkasov, S. & Khomyakov, M., 27 нояб. 2018, в: Journal of Physics: Conference Series. 1115, 3, 6 стр., 032095.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья по материалам конференции › Рецензирование

  7. The effect of the substrate spatial orientation on the properties of amorphous carbon coatings deposited from pulse plasma flows

    Chepkasov, S., Khomyakov, M., Zolkin, A., Maksimovskii, E. & Piliptsou, D., 14 сент. 2020, Proceedings - 2020 7th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects, EFRE 2020. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., стр. 856-862 7 стр. 9242030. (Proceedings - 2020 7th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects, EFRE 2020).

    Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная › Рецензирование

  8. THE OBTAINING ALUMINUM NITRIDE FILMS ON THE ALUMINUM SUBLAYER BY PULSED DC MAGNETRON SPUTTERING

    Богословцева, А. Л., Капишников, А. В., Шаяпов, В. Р., Чепкасов, С. Ю. & Гейдт, П. В., 2024, 9th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects.

    Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная

Назад 1 2 Далее

ID: 12586369