1 - 10 из 12Размер страницы: 10
Сортировать по:: Год публикации
  1. 2025

  2. Effect of substrate temperature on the mechanical stresses in aluminum nitride films prepared by pulsed DC magnetron sputtering

    Шаяпов, В. Р., Богословцева, А. Л., Чепкасов, С. Ю., Капишников, А. В., Milekhin, I., Миронова, М. И. & Гейдт, П. В., 17 дек. 2025, в: Physica Scripta. 100, 12, 9 стр., 125935.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

  3. Features of the Structure and Properties of the ta-C Coatings Deposited from Filtered Flows of the Pulsed Cathodic-Arc Discharge

    Gao, Y., Sakhovsky, K. A., Jiang, S., Chepkasov, S. Y., Jiang, X., Rudenkov, A. S., Makhmanov, U. K., Piliptsou, D. G. & Rogachev, A. V., 8 июл. 2025, в: Eurasian Chemico-Technological Journal. 27, 2, стр. 89-100 12 стр., 2.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

  4. Highly textured AlN films deposited by pulsed DC magnetron sputtering with optimized process parameters

    Shayapov, V. R., Bogoslovtseva, A. L., Chepkasov, S. Y., Kapishnikov, A. V., Mironova, M. I. & Geydt, P. V., 1 мар. 2025, в: Solid State Communications. 397, 115821.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

  5. THE INVESTIGATION OF AlN FILM THICKNESS IMPACT GROWN BY MAGNETRON SPUTTERING ON OPTICAL PROPERTIES IN THE IR AND THz RANGES

    Шевченко, О. Н., Николаев, Н. А., Рыбак, А. А., Богословцева, А. Л., Гейдт, П. В., Чепкасов, С. Ю. & Максимовский, Е. А., 2025, стр. 87. 1 стр.

    Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы

  6. МЕХАНИЧЕСКИЕ НАПРЯЖЕНИЯ В ПЛЕНКАХ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ

    Богословцева, А. Л., Шаяпов, В. Р., Капишников, А. В., Чепкасов, С. Ю. & Гейдт, П. В., 2025, стр. 58-60. 2 стр.

    Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы

  7. 2024

  8. THE OBTAINING ALUMINUM NITRIDE FILMS ON THE ALUMINUM SUBLAYER BY PULSED DC MAGNETRON SPUTTERING

    Богословцева, А. Л., Капишников, А. В., Шаяпов, В. Р., Чепкасов, С. Ю. & Гейдт, П. В., 2024, 9th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects.

    Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная

  9. 2023

  10. Chemical Composition, Structure, and Physical Properties of AlN Films Produced via Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering

    Shayapov, V. R., Bogoslovtseva, A. L., Chepkasov, S. Y., Asanov, I. P., Maksimovskiy, E. A., Kapishnikov, A. V., Mironova, M. I., Lapega, A. V. & Geydt, P. V., июл. 2023, в: Coatings. 13, 7, 13 стр., 1281.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

  11. 2022

  12. Аналитический и технологический исследовательский центр "Высокие технологии и наноструктурированные материалы" ФФ НГУ: история, становление и достигнутые результаты

    Гейдт, П. В., Аржанников, А. В., Асеев, А. Л., Шкляев, А. А., Володин, В. А., Азаров, И. А., Зайковский, В. И., Utkin, D., Ларичев, Ю. В., Чепкасов, С. Ю. & Кузнецов, С. А., 17 дек. 2022, в: Сибирский физический журнал. 17, 3, стр. 66-88 23 стр., 9.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

  13. 2021

  14. Способ и устройство управления концентрацией азота в пленках AlN получаемых при магнетронном распылении

    Гейдт, П. В. & Чепкасов, С. Ю., 29 дек. 2021, Редакционно-издательский центр НГУ, Патент/Св-во № 52, Дата приоритета 28 дек. 2021

    Результаты исследований: Патенты/Свидетельства о регистрации › свидетельство о регистрации ноу-хау

  15. 2020

  16. The effect of the substrate spatial orientation on the properties of amorphous carbon coatings deposited from pulse plasma flows

    Chepkasov, S., Khomyakov, M., Zolkin, A., Maksimovskii, E. & Piliptsou, D., 14 сент. 2020, Proceedings - 2020 7th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects, EFRE 2020. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., стр. 856-862 7 стр. 9242030. (Proceedings - 2020 7th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects, EFRE 2020).

    Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная › Рецензирование

Назад 1 2 Далее

ID: 12586369