1. Прецизионная система подачи рабочих газов высокой чистоты

    Кузнецов, А. Н., Chirikov, N. & Богословцева, А. Л., 22 дек. 2022, Редакционно-издательский центр НГУ, Патент/Св-во № 76, Дата приоритета 22 дек. 2022

    Результаты исследований: Патенты/Свидетельства о регистрациисвидетельство о регистрации ноу-хау

  2. Получение пленок AlN/Al на Si методом импульсного магнетронного распыления для активного слоя ОАВ-резонаторов

    Богословцева, А. Л., Капишников, А. В. & Гейдт, П. В., 2023, Сборник тезисов VII Международной научно-технической конференции «Радиотехника, электроника и связь» (РЭиС-2023). стр. 247

    Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференцийстатья в сборнике материалов конференциинаучнаяРецензирование

  3. Получение пленок AlN/Al на Si методом импульсного магнетронного распыления для активного слоя ОАВ-резонаторов

    Богословцева, А. Л., Капишников, А. В. & Гейдт, П. В., 2024, в: Техника радиосвязи. 1 (60), стр. 75-83 9 стр., 7.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатья по материалам конференцииРецензирование

  4. The obtaining aluminum nitride films on the aluminum sublayer by pulsed DC magnetron sputtering

    Богословцева, А. Л., Капишников, А. В., Шаяпов, В. Р., Чепкасов, С. Ю. & Гейдт, П. В., 2024, PROCEEDINGS OF 9TH INTERNATIONAL CONGRESS ON ENERGY FLUXES AND RADIATION EFFECTS .

    Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференцийстатья в сборнике материалов конференциинаучнаяРецензирование

  5. Silicon surface patterning by glow discharge plasma

    Petrova, A. V., Bogoslovtseva, A. L., Starinskiy, S. V. & Safonov, A. I., июн. 2023, в: Journal of Applied Mechanics and Technical Physics. 64, 3, стр. 472-477 6 стр.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьяРецензирование

  6. Oil–Water Separation on Hydrophobic and Superhydrophobic Membranes Made of Stainless Steel Meshes with Fluoropolymer Coatings

    Melnik, A., Bogoslovtseva, A., Petrova, A., Safonov, A. & Markides, C. N., апр. 2023, в: Water (Switzerland). 15, 7, 1346.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьяРецензирование

  7. Influence of Precursor Gas Flow Rate on Fluoropolymer Coating Growth Rate During Hot Wire Chemical Vapor Deposition

    Сафонов, А. И., Суляева, В., Богословцева, А. Л. & Тимошенко, Н. И., 1 сент. 2018, в: Journal of Applied Mechanics and Technical Physics. 59, 5, стр. 842-846 5 стр., 10.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьяРецензирование

Назад 1 2 Далее

ID: 3496846