1 - 10 из 17Размер страницы: 10
Сортировать по:: Заголовок

  1. Прецизионная система подачи рабочих газов высокой чистоты

    Кузнецов, А. Н., Chirikov, N. & Богословцева, А. Л., 22 дек. 2022, Редакционно-издательский центр НГУ, Патент/Св-во № 76, Дата приоритета 22 дек. 2022

    Результаты исследований: Патенты/Свидетельства о регистрации › свидетельство о регистрации ноу-хау

  2. Получение пленок AlN/Al на Si методом импульсного магнетронного распыления для активного слоя ОАВ-резонаторов

    Богословцева, А. Л., Капишников, А. В. & Гейдт, П. В., 2023, Сборник тезисов VII Международной научно-технической конференции «Радиотехника, электроника и связь» (РЭиС-2023). Омск, стр. 247-248 2 стр.

    Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная › Рецензирование

  3. Получение пленок AlN/Al на Si методом импульсного магнетронного распыления для активного слоя ОАВ-резонаторов

    Богословцева, А. Л., Капишников, А. В. & Гейдт, П. В., 2024, в: Техника радиосвязи. 1 (60), стр. 75-83 9 стр., 7.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья по материалам конференции › Рецензирование

  4. Исследование влияния локальной реакционной камеры в магнетронной распылительной системе на качество и характеристики пленок нитрида

    Богословцева, А. Л., 2023, стр. 184. 1 стр.

    Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы

  5. Влияние доли азота на получение пленок AlN методом импульсного магнетронного распыления

    Богословцева, А. Л., 2024, стр. 249. 1 стр.

    Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы

  6. THE OBTAINING ALUMINUM NITRIDE FILMS ON THE ALUMINUM SUBLAYER BY PULSED DC MAGNETRON SPUTTERING

    Богословцева, А. Л., Капишников, А. В., Шаяпов, В. Р., Чепкасов, С. Ю. & Гейдт, П. В., 2024, 9th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects.

    Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная

  7. THE INVESTIGATION OF AlN FILM THICKNESS IMPACT GROWN BY MAGNETRON SPUTTERING ON OPTICAL PROPERTIES IN THE IR AND THz RANGES

    Шевченко, О. Н., Николаев, Н. А., Рыбак, А. А., Богословцева, А. Л., Гейдт, П. В., Чепкасов, С. Ю. & Максимовский, Е. А., 2025, стр. 87. 1 стр.

    Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы

  8. Silicon surface patterning by glow discharge plasma

    Petrova, A. V., Bogoslovtseva, A. L., Starinskiy, S. V. & Safonov, A. I., июн. 2023, в: Journal of Applied Mechanics and Technical Physics. 64, 3, стр. 472-477 6 стр.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

  9. Oil–Water Separation on Hydrophobic and Superhydrophobic Membranes Made of Stainless Steel Meshes with Fluoropolymer Coatings

    Melnik, A., Bogoslovtseva, A., Petrova, A., Safonov, A. & Markides, C. N., апр. 2023, в: Water (Switzerland). 15, 7, 1346.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

  10. Influence of Precursor Gas Flow Rate on Fluoropolymer Coating Growth Rate During Hot Wire Chemical Vapor Deposition

    Сафонов, А. И., Суляева, В., Богословцева, А. Л. & Тимошенко, Н. И., 1 сент. 2018, в: Journal of Applied Mechanics and Technical Physics. 59, 5, стр. 842-846 5 стр., 10.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

Назад 1 2 Далее

ID: 3496846