Язык оригиналарусский
Номер патента76
Дата приоритета22.12.2022
СостояниеОпубликовано - 22 дек. 2022

    Области исследований

  • ВЫСОКИЙ ВАКУУМ, ОСОБОЧИСТЫЕ ГАЗЫ, СИСТЕМА ПОДАЧИ ГАЗОВ, МАГНТЕРОННОЕ НАПЫЛЕНИЕ, ОТСЕКАЩИЕ ВЕНТИЛИ

    ГРНТИ

  • 47.09.49 Газы и газовые смеси
  • 29.03.29 Вакуумная техника в физическом эксперименте

ID: 42221323