Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная › Рецензирование
Переведенное название | DEPOSITION OF ALN/AL FILMS ON SI BY PULSED MAGNETRON SPUTTERINGFOR THE ACTIVE LAYER OF BAW RESONATORS |
---|---|
Язык оригинала | русский |
Название основной публикации | Сборник тезисов VII Международной научно-технической конференции «Радиотехника, электроника и связь» (РЭиС-2023) |
Место публикации | Омск |
Страницы | 247-248 |
Число страниц | 2 |
Состояние | Опубликовано - 2023 |
Событие | VII Международная научно-техническая конференция «Радиотехника, электроника и связь» (РЭиС-2023) - Омск, Российская Федерация Продолжительность: 4 окт. 2023 → 6 окт. 2023 http://www.oniip.ru/nauka/vii-mezhdunarodnaya-nauchno-tekhnicheskaya-konferentsiya-radiotekhnika-elektronika-i-svyaz/ |
Конференция | VII Международная научно-техническая конференция «Радиотехника, электроника и связь» (РЭиС-2023) |
---|---|
Страна/Tерритория | Российская Федерация |
Город | Омск |
Период | 04.10.2023 → 06.10.2023 |
Сайт в сети Internet |
ID: 59546424