Переведенное названиеDEPOSITION OF ALN/AL FILMS ON SI BY PULSED MAGNETRON SPUTTERINGFOR THE ACTIVE LAYER OF BAW RESONATORS
Язык оригиналарусский
Название основной публикацииСборник тезисов VII Международной научно-технической конференции «Радиотехника, электроника и связь» (РЭиС-2023)
Место публикацииОмск
Страницы247-248
Число страниц2
СостояниеОпубликовано - 2023
СобытиеVII Международная научно-техническая конференция «Радиотехника, электроника и связь» (РЭиС-2023) - Омск, Российская Федерация
Продолжительность: 4 окт. 20236 окт. 2023
http://www.oniip.ru/nauka/vii-mezhdunarodnaya-nauchno-tekhnicheskaya-konferentsiya-radiotekhnika-elektronika-i-svyaz/

Конференция

КонференцияVII Международная научно-техническая конференция «Радиотехника, электроника и связь» (РЭиС-2023)
Страна/TерриторияРоссийская Федерация
ГородОмск
Период04.10.202306.10.2023
Сайт в сети Internet

ID: 59546424