1. Сглаживание тонких поликристаллических пленок AlN кластерными ионами аргона

    Николаев, И. В., Коробейщиков, Н. Г., Роенко, М. А., Гейдт, П. В. & Струнин, В. И., 12 Jan 2021, In: Письма в Журнал технической физики. 47, 6, p. 44-47 4 p.

    Research output: Contribution to journalArticlepeer-review

  2. Получение пленок AlN/Al на Si методом импульсного магнетронного распыления для активного слоя ОАВ-резонаторов

    Богословцева, А. Л., Капишников, А. В. & Гейдт, П. В., 2023, Сборник тезисов VII Международной научно-технической конференции «Радиотехника, электроника и связь» (РЭиС-2023). Омск, p. 247-248 2 p.

    Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contributionResearchpeer-review

  3. Особенности обработки кластерными ионами аргона поликристаллических пленок AlN на подложках из ситалла и Si

    Николаев, И. В., Коробейщиков, Н. Г., Гейдт, П. В., Chirikov, N. & Струнин, В. И., 15 Jul 2022, In: Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 7, p. 46-50 5 p., 7.

    Research output: Contribution to journalArticlepeer-review

  4. Влияние обработки кластерными ионами аргона на морфологию поверхности нитрида алюминия

    Николаев, И. В., Коробейщиков, Н. Г., Гейдт, П. В. & Струнин, В. И., 23 Aug 2021, XXV Международная конференция Взаимодействие ионов с поверхностью «ВИП-2021»: Труды XXV международной конференции. Посвящается 100-летию со дня рождения А.Д. Сахарова. Москва: National Research Nuclear University "MEPhI", p. 68-70 3 p. 12

    Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contributionResearchpeer-review

  5. Young's Modulus of Wurtzite and Zinc Blende InP Nanowires

    Dunaevskiy, M., Geydt, P., Lähderanta, E., Alekseev, P., Haggrén, T., Kakko, J. P., Jiang, H. & Lipsanen, H., 14 Jun 2017, In: Nano Letters. 17, 6, p. 3441-3446 6 p., 7.

    Research output: Contribution to journalArticlepeer-review

ID: 17839471