Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › Research › peer-review
| Translated title of the contribution | DEPOSITION OF ALN/AL FILMS ON SI BY PULSED MAGNETRON SPUTTERINGFOR THE ACTIVE LAYER OF BAW RESONATORS |
|---|---|
| Original language | Russian |
| Title of host publication | Сборник тезисов VII Международной научно-технической конференции «Радиотехника, электроника и связь» (РЭиС-2023) |
| Place of Publication | Омск |
| Pages | 247-248 |
| Number of pages | 2 |
| Publication status | Published - 2023 |
| Event | VII Международная научно-техническая конференция «Радиотехника, электроника и связь» (РЭиС-2023) - Омск, Russian Federation Duration: 4 Oct 2023 → 6 Oct 2023 http://www.oniip.ru/nauka/vii-mezhdunarodnaya-nauchno-tekhnicheskaya-konferentsiya-radiotekhnika-elektronika-i-svyaz/ |
| Conference | VII Международная научно-техническая конференция «Радиотехника, электроника и связь» (РЭиС-2023) |
|---|---|
| Country/Territory | Russian Federation |
| City | Омск |
| Period | 04.10.2023 → 06.10.2023 |
| Internet address |
ID: 59546424