51 - 60 out of 69Page size: 10
Sort by: Title

  1. Влияние температур осаждения и отжига на фазовый состав пленок TiO2, полученных методом атомно-слоевого осаждения из тетрахлорида титана и воды

    Хижняк, Е. А., Шаяпов, В. Р., Корольков, И. В., Дудкина, С. П., Гейдт, П. В. & Лебедев, М. С., 2025, In: Журнал структурной химии. 66, 2, 140578.

    Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

  2. Изучение акустических и оптических свойств пленок нитрида алюминия»

    Богословцева, А. Л., Шевченко, О. Н. & Гейдт, П. В., 2025, p. 277-279. 2 p.

    Research output: Contribution to conference › Abstract

  3. Кремниевая микроэлектроника: современное состояние и перспективы развития, методы диагностики

    Асеев, А. Л. & Гейдт, П. В., 2024, p. 7. 1 p.

    Research output: Contribution to conference › Abstract › peer-review

  4. МЕХАНИЧЕСКИЕ НАПРЯЖЕНИЯ В ПЛЕНКАХ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ

    Богословцева, А. Л., Шаяпов, В. Р., Капишников, А. В., Чепкасов, С. Ю. & Гейдт, П. В., 2025, p. 58-60. 2 p.

    Research output: Contribution to conference › Abstract

  5. Особенности обработки кластерными ионами аргона поликристаллических пленок AlN на подложках из ситалла и Si

    Николаев, И. В., Коробейщиков, Н. Г., Гейдт, П. В. & Струнин, В. И., 25 May 2021, p. 31. 1 p.

    Research output: Contribution to conference › Abstract › peer-review

  6. Особенности обработки кластерными ионами аргона поликристаллических пленок AlN на подложках из ситалла и Si

    Николаев, И. В., Коробейщиков, Н. Г., Гейдт, П. В., Chirikov, N. & Струнин, В. И., 15 Jul 2022, In: Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 7, p. 46-50 5 p., 7.

    Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

  7. Получение пленок AlN/Al на Si методом импульсного магнетронного распыления для активного слоя ОАВ-резонаторов

    Богословцева, А. Л., Капишников, А. В. & Гейдт, П. В., 2023, Сборник тезисов VII Международной научно-технической конференции «Радиотехника, электроника и связь» (РЭиС-2023). Омск, p. 247-248 2 p.

    Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › Research › peer-review

  8. Получение пленок AlN/Al на Si методом импульсного магнетронного распыления для активного слоя ОАВ-резонаторов

    Богословцева, А. Л., Капишников, А. В. & Гейдт, П. В., 2024, In: Техника радиосвязи. 1 (60), p. 75-83 9 p., 7.

    Research output: Contribution to journal › Conference article › peer-review

  9. Сглаживание тонких поликристаллических пленок AlN кластерными ионами аргона

    Николаев, И. В., Коробейщиков, Н. Г., Роенко, М. А., Гейдт, П. В. & Струнин, В. И., 12 Jan 2021, In: Письма в Журнал технической физики. 47, 6, p. 44-47 4 p.

    Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

  10. Совместное использование атомно-силовой микроскопии и молекулярной динамики при исследовании биополимерных систем

    Smirnov, M. A., Tolmachev, D. A., Glova, A. D., Sokolova, M. P., Гейдт, П. В., Lukasheva, N. V. & Lyulin, S. V., 2021, In: Высокомолекулярные соединения. Серия С. 63, 2, p. 253-270 18 p., 12.

    Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

Previous 12 3 4 5 6 7 Next

ID: 17839471