Способ измерения пьезокоэффициента в пьезоактивных пленках с помощью сканирующего зондового микроскопа › Research Explorer

Иван Владимирович Николаев (Author)
Павел Викторович Гейдт (Author)

Original language	Russian
Patent number	144
Priority date	12.12.2025
Filing date	12.12.2025
Publication status	Published - 12 Dec 2025

State classification of scientific and technological information

90.27.34 the measurement of electrical and magnetic quantities
47.09.33 Ferroelectrics and piezoelectrics
47.33.37 Devices functional microelec-tronica

ID: 72862170