1 - 10 out of 16Page size: 10
Sort by: Title

  1. Прецизионная система подачи рабочих газов высокой чистоты

    Кузнецов, А. Н., Chirikov, N. & Богословцева, А. Л., 22 Dec 2022, Редакционно-издательский центр НГУ, Patent No. 76, Priority date 22 Dec 2022

    Research output: Patent › Know-how registration

  2. Получение пленок AlN/Al на Si методом импульсного магнетронного распыления для активного слоя ОАВ-резонаторов

    Богословцева, А. Л., Капишников, А. В. & Гейдт, П. В., 2023, Сборник тезисов VII Международной научно-технической конференции «Радиотехника, электроника и связь» (РЭиС-2023). Омск, p. 247-248 2 p.

    Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › Research › peer-review

  3. Получение пленок AlN/Al на Si методом импульсного магнетронного распыления для активного слоя ОАВ-резонаторов

    Богословцева, А. Л., Капишников, А. В. & Гейдт, П. В., 2024, In: Техника радиосвязи. 1 (60), p. 75-83 9 p., 7.

    Research output: Contribution to journal › Conference article › peer-review

  4. Исследование влияния локальной реакционной камеры в магнетронной распылительной системе на качество и характеристики пленок нитрида

    Богословцева, А. Л., 2023, p. 184. 1 p.

    Research output: Contribution to conference › Abstract

  5. Влияние доли азота на получение пленок AlN методом импульсного магнетронного распыления

    Богословцева, А. Л., 2024, p. 249. 1 p.

    Research output: Contribution to conference › Abstract

  6. THE OBTAINING ALUMINUM NITRIDE FILMS ON THE ALUMINUM SUBLAYER BY PULSED DC MAGNETRON SPUTTERING

    Богословцева, А. Л., Капишников, А. В., Шаяпов, В. Р., Чепкасов, С. Ю. & Гейдт, П. В., 2024, 9th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects.

    Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › Research

  7. Silicon surface patterning by glow discharge plasma

    Petrova, A. V., Bogoslovtseva, A. L., Starinskiy, S. V. & Safonov, A. I., Jun 2023, In: Journal of Applied Mechanics and Technical Physics. 64, 3, p. 472-477 6 p.

    Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

  8. Oil–Water Separation on Hydrophobic and Superhydrophobic Membranes Made of Stainless Steel Meshes with Fluoropolymer Coatings

    Melnik, A., Bogoslovtseva, A., Petrova, A., Safonov, A. & Markides, C. N., Apr 2023, In: Water (Switzerland). 15, 7, 1346.

    Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

  9. Influence of Precursor Gas Flow Rate on Fluoropolymer Coating Growth Rate During Hot Wire Chemical Vapor Deposition

    Сафонов, А. И., Суляева, В., Богословцева, А. Л. & Тимошенко, Н. И., 1 Sept 2018, In: Journal of Applied Mechanics and Technical Physics. 59, 5, p. 842-846 5 p., 10.

    Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

  10. Influence of catalyst material on growth rate and morphology of fluoropolymer coating deposited by Hot Wire CVD

    Timoshenko, N. I., Sulyaeva, V. S., Bogoslovtseva, A. L., Gatapova, E. Y. & Safonov, A. I., 28 Nov 2018, In: Journal of Physics: Conference Series. 1105, 1, 4 p., 012125.

    Research output: Contribution to journal › Conference article › peer-review

Previous 1 2 Next

ID: 3496846