Исследование влияния локальной реакционной камеры в магнетронной распылительной системе на качество и характеристики пленок нитрида › Research Explorer

Novosibirsk State University's Research Portal

Исследование влияния локальной реакционной камеры в магнетронной распылительной системе на качество и характеристики пленок нитрида

Research output: Contribution to conference › Abstract

Laboratory of functional diagnostics of low-dimensional structures for nanoelectronics

Documents

Аэрофизика. Фотоника и квантовые оптические технологии. Физика плазмы. Физика твердого тела. Теплофизика. Физические методы в естественных науках и материаловедении. Физика элементарных частиц, астрофизика и космология. Физика сплошных сред. Инструментальные методы и техника экспериментальной физики : Материалы 61-й Междунар. науч. студ. конф. 17–26 апреля 2023 г. / Новосиб. гос. ун-т. — Новосибирск : ИПЦ НГУ, 2023. — 320 с.
Final published version, 2.84 MB, PDF document

DOI

https://doi.org/10.25205/978-5-4437-1442-4
Final published version

Алена Леонидовна Богословцева

Original language	Russian
Pages	184
Number of pages	1
DOIs	https://doi.org/10.25205/978-5-4437-1442-4
Publication status	Published - 2023

ID: 59373320