1 - 10 из 15Размер страницы: 10
Сортировать по:: Заголовок

  1. Способ и устройство управления концентрацией азота в пленках AlN получаемых при магнетронном распылении

    Гейдт, П. В. & Чепкасов, С. Ю., 29 дек. 2021, Редакционно-издательский центр НГУ, Патент/Св-во № 52, Дата приоритета 28 дек. 2021

    Результаты исследований: Патенты/Свидетельства о регистрации › свидетельство о регистрации ноу-хау

  2. ОПТИЧЕСКАЯ ЭМИССИОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ ПЛАЗМЫ ПРИ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ ПЛЕНОК НИТРИДА АЛЮМИНИЯ

    Шаяпов, В. Р., Чепкасов, С. Ю., Богословцева, А. Л. & Гейдт, П. В., 2026, стр. 360-361. 2 стр.

    Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы

  3. МЕХАНИЧЕСКИЕ НАПРЯЖЕНИЯ В ПЛЕНКАХ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ

    Богословцева, А. Л., Шаяпов, В. Р., Капишников, А. В., Чепкасов, С. Ю. & Гейдт, П. В., 2025, стр. 58-60. 2 стр.

    Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы

  4. Аналитический и технологический исследовательский центр "Высокие технологии и наноструктурированные материалы" ФФ НГУ: история, становление и достигнутые результаты

    Гейдт, П. В., Аржанников, А. В., Асеев, А. Л., Шкляев, А. А., Володин, В. А., Азаров, И. А., Зайковский, В. И., Utkin, D., Ларичев, Ю. В., Чепкасов, С. Ю. & Кузнецов, С. А., 17 дек. 2022, в: Сибирский физический журнал. 17, 3, стр. 66-88 23 стр., 9.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

  5. АКУСТИЧЕСКИЕ РЕЗОНАТОРЫ ГГц-ДИАПАЗОНА С БРЭГГОВСКИМ ОТРАЖАТЕЛЕМ, ВЫРАЩЕННЫЕ МЕТОДОМ ИМПУЛЬСНОГО МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ

    Гейдт, П. В., Чепкасов, С. Ю., Богословцева, А. Л. & Шаяпов, В. Р., 2026, стр. 241-242. 2 стр.

    Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы

  6. THE OBTAINING ALUMINUM NITRIDE FILMS ON THE ALUMINUM SUBLAYER BY PULSED DC MAGNETRON SPUTTERING

    Богословцева, А. Л., Капишников, А. В., Шаяпов, В. Р., Чепкасов, С. Ю. & Гейдт, П. В., 2024, 9th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects.

    Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная

  7. THE INVESTIGATION OF AlN FILM THICKNESS IMPACT GROWN BY MAGNETRON SPUTTERING ON OPTICAL PROPERTIES IN THE IR AND THz RANGES

    Шевченко, О. Н., Николаев, Н. А., Рыбак, А. А., Богословцева, А. Л., Гейдт, П. В., Чепкасов, С. Ю. & Максимовский, Е. А., 2025, стр. 87. 1 стр.

    Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы

  8. The effect of the substrate spatial orientation on the properties of amorphous carbon coatings deposited from pulse plasma flows

    Chepkasov, S., Khomyakov, M., Zolkin, A., Maksimovskii, E. & Piliptsou, D., 14 сент. 2020, Proceedings - 2020 7th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects, EFRE 2020. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., стр. 856-862 7 стр. 9242030. (Proceedings - 2020 7th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects, EFRE 2020).

    Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная › Рецензирование

  9. Synthesis of amorphous hydrogenated carbon (a-C: H) films on Germanium by the use of the linear anode layer source

    Zolkin, A., Semerikova, A., Chepkasov, S. & Khomyakov, M., 27 нояб. 2018, в: Journal of Physics: Conference Series. 1115, 3, 6 стр., 032095.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья по материалам конференции › Рецензирование

  10. Study of the Lattice Structure and Sound Velocity in AlN Films on a Silicon Substrate for the Development of Acoustic Resonators

    Bogoslovtseva, A. L., Shevchenko, O. N., Nikolaev, N. A., Rybak, A. A., Gribanov, D. S., Adishchev, S. V., Dobrynina, E. A., Chepkasov, S. Y. & Geydt, P. V., 11 июн. 2026, в: Optoelectronics, Instrumentation and Data Processing. 62, 1, стр. 54-62 9 стр.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

Назад 1 2 Далее

ID: 12586369