Документы

Язык оригиналарусский
Номер патента52
Дата приоритета28.12.2021
СостояниеОпубликовано - 29 дек. 2021

    ГРНТИ

  • 29.19.22 Физика наноструктур. Низкоразмер-ные структуры. Мезоскопические структуры

    Области исследований

  • ФИЗИКА ПЛАЗМЫ, ОСАЖДЕНИЕ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ, НИТРИД АЛЮМИНИЯ, МАГНЕТРОН

ID: 35034538