1. Effect of Cluster Ion Bombardment on the Roughly Polished Surface of Single-Crystal Germanium Wafers

    Nikolaev, I. V., Korobeishchikov, N. G. & Lapega, A. V., июн. 2024, в: Moscow University Physics Bulletin. 79, 3, стр. 330-335 6 стр.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьяРецензирование

  2. Cluster Ion Treatment of the Surface of Single-Crystal Silicon and Germanium at an Angle of 60°

    Николаев, И. В., Коробейщиков, Н. Г. & Лапега, А. В., июн. 2025, в: Journal of Surface Investigation. 19, 1, стр. 163-166 4 стр.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьяРецензирование

  3. Chemical Composition, Structure, and Physical Properties of AlN Films Produced via Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering

    Shayapov, V. R., Bogoslovtseva, A. L., Chepkasov, S. Y., Asanov, I. P., Maksimovskiy, E. A., Kapishnikov, A. V., Mironova, M. I., Lapega, A. V. & Geydt, P. V., июл. 2023, в: Coatings. 13, 7, 13 стр., 1281.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьяРецензирование

Назад 1 2 Далее

ID: 3536595