1. Влияние температур осаждения и отжига на фазовый состав пленок TiO2, полученных методом атомно-слоевого осаждения из тетрахлорида титана и воды

    Хижняк, Е. А., Шаяпов, В. Р., Корольков, И. В., Дудкина, С. П., Гейдт, П. В. & Лебедев, М. С., 2025, в: Журнал структурной химии. 66, 2, 140578.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьяРецензирование

  2. Изучение акустических и оптических свойств пленок нитрида алюминия»

    Богословцева, А. Л., Шевченко, О. Н. & Гейдт, П. В., 2025, стр. 277-279. 2 стр.

    Результаты исследований: Материалы конференцийтезисы

  3. Кремниевая микроэлектроника: современное состояние и перспективы развития, методы диагностики

    Асеев, А. Л. & Гейдт, П. В., 2024, стр. 7. 1 стр.

    Результаты исследований: Материалы конференцийтезисыРецензирование

  4. Особенности обработки кластерными ионами аргона поликристаллических пленок AlN на подложках из ситалла и Si

    Николаев, И. В., Коробейщиков, Н. Г., Гейдт, П. В. & Струнин, В. И., 25 мая 2021, стр. 31. 1 стр.

    Результаты исследований: Материалы конференцийтезисыРецензирование

  5. Особенности обработки кластерными ионами аргона поликристаллических пленок AlN на подложках из ситалла и Si

    Николаев, И. В., Коробейщиков, Н. Г., Гейдт, П. В., Chirikov, N. & Струнин, В. И., 15 июл. 2022, в: Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 7, стр. 46-50 5 стр., 7.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьяРецензирование

  6. Получение пленок AlN/Al на Si методом импульсного магнетронного распыления для активного слоя ОАВ-резонаторов

    Богословцева, А. Л., Капишников, А. В. & Гейдт, П. В., 2023, Сборник тезисов VII Международной научно-технической конференции «Радиотехника, электроника и связь» (РЭиС-2023). Омск, стр. 247-248 2 стр.

    Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференцийстатья в сборнике материалов конференциинаучнаяРецензирование

  7. Получение пленок AlN/Al на Si методом импульсного магнетронного распыления для активного слоя ОАВ-резонаторов

    Богословцева, А. Л., Капишников, А. В. & Гейдт, П. В., 2024, в: Техника радиосвязи. 1 (60), стр. 75-83 9 стр., 7.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатья по материалам конференцииРецензирование

  8. Сглаживание тонких поликристаллических пленок AlN кластерными ионами аргона

    Николаев, И. В., Коробейщиков, Н. Г., Роенко, М. А., Гейдт, П. В. & Струнин, В. И., 12 янв. 2021, в: Письма в Журнал технической физики. 47, 6, стр. 44-47 4 стр.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьяРецензирование

  9. Совместное использование атомно-силовой микроскопии и молекулярной динамики при исследовании биополимерных систем

    Smirnov, M. A., Tolmachev, D. A., Glova, A. D., Sokolova, M. P., Гейдт, П. В., Lukasheva, N. V. & Lyulin, S. V., 2021, в: Высокомолекулярные соединения. Серия С. 63, 2, стр. 253-270 18 стр., 12.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьяРецензирование

ID: 17839471