1. 2021
  2. Sputtering of silicon by atomic and cluster bismuth ions: An influence of projectile nuclearity and specific kinetic energy on the sputter yield

    Tolstogouzov, A., Mazarov, P., Ieshkin, A. E., Belykh, S. F., Korobeishchikov, N. G., Pelenovich, V. O. & Fu, D. J., июн. 2021, в: Vacuum. 188, 110188.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьяРецензирование

  3. Особенности обработки кластерными ионами аргона поликристаллических пленок AlN на подложках из ситалла и Si

    Николаев, И. В., Коробейщиков, Н. Г., Гейдт, П. В. & Струнин, В. И., 25 мая 2021, стр. 31. 1 стр.

    Результаты исследований: Материалы конференцийтезисыРецензирование

  4. Селективное распыление поверхности монокристаллов трибората лития ионно-кластерным пучком аргона

    Коробейщиков, Н. Г., Николаев, И. В., Атучин, В. В. & Просвирин, И. П., 25 мая 2021, стр. 10. 1 стр.

    Результаты исследований: Материалы конференцийтезисыРецензирование

  5. Smoothing of Polycrystalline AlN Thin Films with Argon Cluster Ions

    Nikolaev, I. V., Korobeishchikov, N. G., Roenko, M. A., Geydt, P. V. & Strunin, V. I., апр. 2021, в: Technical Physics Letters. 47, 4, стр. 301-304 4 стр., 12.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьяРецензирование

  6. Influence of the Parameters of Cluster Ions on the Formation of Nanostructures on the KTP Surface

    Николаев, И. В. & Коробейщиков, Н. Г., 23 янв. 2021, в: Applied Nano. 2, 1, стр. 25-30 6 стр., 3.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьяРецензирование

  7. Сглаживание тонких поликристаллических пленок AlN кластерными ионами аргона

    Николаев, И. В., Коробейщиков, Н. Г., Роенко, М. А., Гейдт, П. В. & Струнин, В. И., 12 янв. 2021, в: Письма в Журнал технической физики. 47, 6, стр. 44-47 4 стр.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьяРецензирование

  8. Influence of the Parameters of Cluster Ions on the Formation of Nanostructures on the KTP Surface

    Николаев, И. В. & Коробейщиков, Н. Г., 2021, Formation of Advanced Nanomaterials by Gas-Phase Aggregation. Multidisciplinary Digital Publishing Institute (MDPI), стр. 97-102 6 стр. 7

    Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференцийстатья в сборникеРецензирование

  9. 2020
  10. Formation of irregular morphology on nanostructured surface by gas cluster ion beam

    Pelenovich, V., Zeng, X., Zuo, W., Tolstogouzov, A., Korobeishchikov, N., Fu, D. & Yang, B., 1 дек. 2020, в: Vacuum. 182, 4 стр., 109705.

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьяРецензирование

  11. Aluminium nitride thin films surface smoothing by argon cluster ions

    Korobeishchikov, N., Geydt, P., Nikolaev, I., Strunin, V. & Roenko, M., 14 сент. 2020, Proceedings - 2020 7th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects, EFRE 2020. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., стр. 722-725 4 стр. 9242187. (Proceedings - 2020 7th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects, EFRE 2020).

    Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференцийстатья в сборнике материалов конференциинаучнаяРецензирование

  12. Potassium titanyl phosphate sputtering features by argon cluster ions

    Nikolaev, I., Korobeishchikov, N. & Roenko, M., 14 сент. 2020, Proceedings - 2020 7th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects, EFRE 2020. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., стр. 526-528 3 стр. 9242181. (Proceedings - 2020 7th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects, EFRE 2020).

    Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференцийстатья в сборнике материалов конференциинаучнаяРецензирование

ID: 3458050