Особенности обработки кластерными ионами аргона поликристаллических пленок AlN на подложках из ситалла и Si

Переведенное название	Features of processing of polycrystalline aln films on glass-ceramics and Si substrates with argon cluster ions
Язык оригинала	русский
Номер статьи	7
Страницы (с-по)	46-50
Число страниц	5
Журнал	Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
Номер выпуска	7
DOI	https://doi.org/10.31857/S1028096022070159
Состояние	Опубликовано - 15 июл. 2022

ID: 36950240