DOI

Переведенное названиеОсобенности обработки кластерными ионами аргона поликристаллических пленок AlN на подложках из ситалла и Si
Язык оригиналаанглийский
Страницы (с-по)480-483
Число страниц4
ЖурналJournal of Surface Investigation
Том16
Номер выпуска4
DOI
СостояниеОпубликовано - 3 авг. 2022

    Предметные области OECD FOS+WOS

  • 2.05 ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ

ID: 36737899