Программа для моделирования спектров пропускания и отражения слоистых структур на толстой подложке с учётом интерференции в слоях

Егоров, Д. А., Азаров, И. А. & Володин, В. А., 4 Oct 2022, Роспатент - Федеральная служба по интеллектуальной собственности, Patent No. 2022668094, Priority date 28 Sept 2022, Priority No. 2022667509

Research output: Patent › Software registration

Программа расчёта поляризационных свойств слоистых отражающих структур и моделирования спектров эллипсометрии

Азаров, И. А., 20 Dec 2022, Роспатент - Федеральная служба по интеллектуальной собственности, Patent No. 2022685005, Priority date 13 Dec 2022, Priority No. 2022684414

Research output: Patent › Software registration