1. База данных оптических констант материалов для спектральной эллипсометрии

    Азаров, И. А., 20 Jan 2023, Роспатент - Федеральная служба по интеллектуальной собственности, Patent No. 2023620328, Priority date 23 Dec 2022, Priority No. 2022623906

    Research output: PatentDatabase registration

  2. Исследование кинетики реакции диспропорционирования тонких пленок GeO оптическими методами

    Володин, В. А., 帆张, Азаров, И. А., Астанкова, К. Н. & Кислухин, Н. А., 2023, Комбинационное рассеяние света для исследования наноструктур. Новосибирск: ООО "ДигитПРО", p. 31-32 2 p.

    Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contributionResearchpeer-review

  3. Применение комбинационного рассеяния света для анализа нанокластеров аморфного кремния в плёнках нестехиометрического нитрида кремния, применяющихся в элементах флэш-памяти и в матрицах резистивной памяти

    Володин, В. А., Гриценко, В. А., Камаев, Г. Н., Черкова, С. Г., Азаров, И. А., Новиков, Ю. Н., Гисматулин, А. А. & Просвирин, И. П., 2023, Тезисы докладов Российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам спектроскопии комбинационного рассеяния света. Москва: Издательство "Перо", p. 64

    Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contributionResearchpeer-review

  4. Программа для моделирования спектров пропускания и отражения слоистых структур на толстой подложке с учётом интерференции в слоях

    Егоров, Д. А., Азаров, И. А. & Володин, В. А., 4 Oct 2022, Роспатент - Федеральная служба по интеллектуальной собственности, Patent No. 2022668094, Priority date 28 Sept 2022, Priority No. 2022667509

    Research output: PatentSoftware registration

  5. Программа расчёта поляризационных свойств слоистых отражающих структур и моделирования спектров эллипсометрии

    Азаров, И. А., 20 Dec 2022, Роспатент - Федеральная служба по интеллектуальной собственности, Patent No. 2022685005, Priority date 13 Dec 2022, Priority No. 2022684414

    Research output: PatentSoftware registration

Previous 1 2 3 4 5 Next

ID: 12587340