11 - 17 out of 17Page size: 10
Sort by: Title

  1. The obtaining aluminum nitride films on the aluminum sublayer by pulsed DC magnetron sputtering

    Богословцева, А. Л., Капишников, А. В., Шаяпов, В. Р., Чепкасов, С. Ю. & Гейдт, П. В., 2024, PROCEEDINGS OF 9TH INTERNATIONAL CONGRESS ON ENERGY FLUXES AND RADIATION EFFECTS .

    Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › Research › peer-review

  2. THE OBTAINING ALUMINUM NITRIDE FILMS ON THE ALUMINUM SUBLAYER BY PULSED DC MAGNETRON SPUTTERING

    Богословцева, А. Л., Капишников, А. В., Шаяпов, В. Р., Чепкасов, С. Ю. & Гейдт, П. В., 2024.

    Research output: Contribution to conference › Abstract

  3. Влияние доли азота на получение пленок AlN методом импульсного магнетронного распыления

    Богословцева, А. Л., 2024.

    Research output: Contribution to conference › Abstract

  4. Получение пленок AlN/Al на Si методом импульсного магнетронного распыления для активного слоя ОАВ резонаторов

    Богословцева, А. Л., 2023.

    Research output: Contribution to conference › Abstract

  5. Получение пленок AlN/Al на Si методом импульсного магнетронного распыления для активного слоя ОАВ-резонаторов

    Богословцева, А. Л., Капишников, А. В. & Гейдт, П. В., 2023, Сборник тезисов VII Международной научно-технической конференции «Радиотехника, электроника и связь» (РЭиС-2023). p. 247

    Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › Research › peer-review

  6. Получение пленок AlN/Al на Si методом импульсного магнетронного распыления для активного слоя ОАВ-резонаторов

    Богословцева, А. Л., Капишников, А. В. & Гейдт, П. В., 2024, In: Техника радиосвязи. 1 (60), p. 75-83 9 p., 7.

    Research output: Contribution to journal › Conference article › peer-review

  7. Прецизионная система подачи рабочих газов высокой чистоты

    Кузнецов, А. Н., Chirikov, N. & Богословцева, А. Л., 22 Dec 2022, Редакционно-издательский центр НГУ, Patent No. 76, Priority date 22 Dec 2022

    Research output: Patent › Know-how registration

Previous 1 2 Next

ID: 3496846