Standard

Effect of substrate temperature on the mechanical stresses in aluminum nitride films prepared by pulsed DC magnetron sputtering. / Шаяпов, Владимир Равильевич; Богословцева, Алена Леонидовна; Чепкасов, Сергей Юрьевич и др.

в: Physica Scripta, 17.12.2025.

Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

Harvard

Шаяпов, ВР, Богословцева, АЛ, Чепкасов, СЮ, Капишников, АВ, Milekhin, I, Миронова, МИ & Гейдт, ПВ 2025, 'Effect of substrate temperature on the mechanical stresses in aluminum nitride films prepared by pulsed DC magnetron sputtering', Physica Scripta. <https://iopscience.iop.org/article/10.1088/1402-4896/ae2993>

APA

Шаяпов, В. Р., Богословцева, А. Л., Чепкасов, С. Ю., Капишников, А. В., Milekhin, I., Миронова, М. И., & Гейдт, П. В. (2025). Effect of substrate temperature on the mechanical stresses in aluminum nitride films prepared by pulsed DC magnetron sputtering. Physica Scripta. https://iopscience.iop.org/article/10.1088/1402-4896/ae2993

Vancouver

Шаяпов ВР, Богословцева АЛ, Чепкасов СЮ, Капишников АВ, Milekhin I, Миронова МИ и др. Effect of substrate temperature on the mechanical stresses in aluminum nitride films prepared by pulsed DC magnetron sputtering. Physica Scripta. 2025 дек. 17.

Author

Шаяпов, Владимир Равильевич ; Богословцева, Алена Леонидовна ; Чепкасов, Сергей Юрьевич и др. / Effect of substrate temperature on the mechanical stresses in aluminum nitride films prepared by pulsed DC magnetron sputtering. в: Physica Scripta. 2025.

BibTeX

@article{35da3dc416494008b14525bbf4265d5b,
title = "Effect of substrate temperature on the mechanical stresses in aluminum nitride films prepared by pulsed DC magnetron sputtering",
author = "Шаяпов, {Владимир Равильевич} and Богословцева, {Алена Леонидовна} and Чепкасов, {Сергей Юрьевич} and Капишников, {Александр Владимирович} and Ilya Milekhin and Миронова, {Мария Ивановна} and Гейдт, {Павел Викторович}",
year = "2025",
month = dec,
day = "17",
language = "English",
journal = "Physica Scripta",
issn = "0031-8949",
publisher = "IOP Publishing Ltd.",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - Effect of substrate temperature on the mechanical stresses in aluminum nitride films prepared by pulsed DC magnetron sputtering

AU - Шаяпов, Владимир Равильевич

AU - Богословцева, Алена Леонидовна

AU - Чепкасов, Сергей Юрьевич

AU - Капишников, Александр Владимирович

AU - Milekhin, Ilya

AU - Миронова, Мария Ивановна

AU - Гейдт, Павел Викторович

PY - 2025/12/17

Y1 - 2025/12/17

M3 - Article

JO - Physica Scripta

JF - Physica Scripta

SN - 0031-8949

ER -

ID: 72866845