Володин, В. А.,
Камаев, Г. Н.,
Антоненко, А. Х. &
Кошелев, Д. И.,
20 Oct 2014, IPC No. G01N21/65, H01L21/66, Роспатент - Федеральная служба по интеллектуальной собственности, Patent No. 2531081, Priority date
18 Jul 2013, Priority No. 2013133496
Research output: Patent › Patent for invention
