1. Кластерно-ионные пучки для нанотехнологии

    Коробейщиков, Н. Г., Зарвин, А. Е., Каляда, В. В. & Федотова, Е. А., 2011, p. 79-81. 3 p.

    Research output: Contribution to conferenceAbstractpeer-review

  2. Источник малоэнергетичных электронов на основе гексаборида лантана

    Каляда, В. В., Ходаков, М. Д., Зарвин, А. Е. & Коробейщиков, Н. Г., 2 Dec 2013, Редакционно-издательский центр НГУ, Patent No. 18, Priority date 28 Nov 2013

    Research output: PatentKnow-how registration

  3. Ионно-кластерная полировка поверхности материалов до субнанометрового уровня шероховатости

    Николаев, И. В., Коробейщиков, Н. Г. & Роенко, М. А., 2018, In: Вакуумная техника и технология. 28, 1, p. 71-75 5 p., 7.

    Research output: Contribution to journalArticlepeer-review

  4. Ионно-кластерная обработка поверхности монокристаллических кремния и германия

    Николаев, И. В., Коробейщиков, Н. Г. & Лапега, А. В., 28 May 2024, ТЕЗИСЫ ДОКЛАДОВ 53-Й МЕЖДУНАРОДНОЙ ТУЛИНОВСКОЙ КОНФЕРЕНЦИИ ПО ФИЗИКЕ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ С КРИСТАЛЛАМИ. Москва: Издательский дом КДУ, p. 10 1 p.

    Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contributionResearchpeer-review

  5. Закономерности формирования газоструйных ионно-кластерных пучков

    Коробейщиков, Н. Г., 2023, XXXIX Сибирский теплофизический семинар : Тезисы докладов, посвященные 90-летию академика РАН А.К. Реброва. Тезисы докладов, Новосибирск, 28–31 августа 2023 года. Новосибирск: ФГУП "Издательство СО РАН", p. 18 1 p.

    Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contributionResearchpeer-review

  6. Газодинамические источники кластерных ионов для решения фундаментальных и прикладных задач

    Иешкин, А. Е., Толстогузов, А. Б., Коробейщиков, Н. Г., Пеленович, В. О. & Черныш, В. С., 1 Jul 2022, In: Успехи физических наук. 192, 7, p. 722-753 31 p., 2.

    Research output: Contribution to journalArticlepeer-review

  7. Влияние размерного эффекта на кластерную ионную эмиссию наноструктур кремния

    Толстогузов, А. Б., Дроздов, М. Н., Иешкин, А. Е., Татаринцев, А. А., Мяконьких, А. В., Белых, С. Ф., Коробейщиков, Н. Г., Пеленович, В. О. & Фу, Д., 11 Mar 2020, In: Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики. 111, 7-8 (4), p. 531-535 5 p., 20.

    Research output: Contribution to journalArticlepeer-review

Previous 12 3 4 5 6 7 8 9 ...14 Next

ID: 3458050