Research output: Contribution to conference › Abstract › peer-review
| Original language | Russian |
|---|---|
| Pages | 79-81 |
| Number of pages | 3 |
| Publication status | Published - 2011 |
| Event | Фундаментальные основы МЭМС- и нанотехнологий. Вып. 3.: III Всероссийский семинар - НГАСУ, Нговосибирск, Russian Federation Duration: 25 May 2011 → 27 May 2011 Conference number: 3 http://ns.itam.nsc.ru/lib/ecatalog/?author2=%CC%EE%F2%FB%F0%E5%E2+%CF.%C0. |
| Seminar | Фундаментальные основы МЭМС- и нанотехнологий. Вып. 3.: III Всероссийский семинар |
|---|---|
| Country/Territory | Russian Federation |
| City | Нговосибирск |
| Period | 25.05.2011 → 27.05.2011 |
| Internet address |
ID: 27317669