Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная
THE OBTAINING ALUMINUM NITRIDE FILMS ON THE ALUMINUM SUBLAYER BY PULSED DC MAGNETRON SPUTTERING. / Богословцева, Алена Леонидовна; Капишников, Александр Владимирович; Шаяпов, Владимир Равильевич и др.
9th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects. 2024.Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная
}
TY - GEN
T1 - THE OBTAINING ALUMINUM NITRIDE FILMS ON THE ALUMINUM SUBLAYER BY PULSED DC MAGNETRON SPUTTERING
AU - Богословцева, Алена Леонидовна
AU - Капишников, Александр Владимирович
AU - Шаяпов, Владимир Равильевич
AU - Чепкасов, Сергей Юрьевич
AU - Гейдт, Павел Викторович
N1 - Conference code: 9
PY - 2024
Y1 - 2024
UR - https://efre.ru/files/abstracts/C4-P-011902-1710235141-q8lI.pdf
M3 - Conference contribution
BT - 9th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects
T2 - 9th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects
Y2 - 16 September 2024 through 21 September 2024
ER -
ID: 65177816